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15、3、微振動(dòng)控制設(shè)計(jì)15 3,1.潔凈廠房的微振動(dòng)控制設(shè)計(jì) 應(yīng)按下列階段進(jìn)行微振動(dòng)測試分析,1 場地環(huán)境振動(dòng)測試及分析.2,潔凈廠房建筑結(jié)構(gòu)振動(dòng)特性測試及分析。3 精密設(shè)備.儀器安裝地點(diǎn)環(huán)境振動(dòng)測試及分析,4,微振動(dòng)控制的最終測試及分析。15.3 2 有微振動(dòng)控制要求的潔凈室,區(qū),其建筑結(jié)構(gòu)的微振動(dòng)控制設(shè)計(jì)、應(yīng)符合下列規(guī)定.1 建筑物基礎(chǔ)宜置于動(dòng)力性能良好的地基土上,且基礎(chǔ)應(yīng)有足夠剛度,2。應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的建筑結(jié)構(gòu)微振動(dòng)控制體系，并應(yīng)與廠房主體結(jié)構(gòu)分隔。3。主體結(jié)構(gòu)應(yīng)根據(jù)微振動(dòng)控制的要求,適當(dāng)加大梁。柱 墻?；A(chǔ)等截面尺寸。15.3,3 有強(qiáng)烈振動(dòng)的設(shè)備和管道。宜采取主動(dòng)隔振措施。并應(yīng)符合下列要求,1、宜采用隔振臺。座.2 應(yīng)選用剛度適當(dāng)?shù)母粽衿?3、通往潔凈室 區(qū)、的管道 宜采取隔振支，吊.架、柔性連接等隔振措施 15。3,4,潔凈室內(nèi)精密設(shè)備 儀器的被動(dòng)隔振措施的設(shè)計(jì),應(yīng)符合下列要求，1.隔振臺、座.應(yīng)具有足夠的剛度。2 應(yīng)采用低剛度隔振設(shè)施,3,隔振系統(tǒng)各向阻尼比不應(yīng)小于0。15 4，隔振臺。座、應(yīng)采取傾斜校正措施、5、隔振設(shè)施不應(yīng)影響氣流流型 6，當(dāng)采用空氣彈簧隔振器時(shí)，其供氣系統(tǒng)應(yīng)進(jìn)行凈化處理,并應(yīng)達(dá)到潔凈室空氣潔凈度等級的要求

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