"大量文字復制"等功能僅限VIP會員使用，您可以選擇以下方式解決：
1、選擇少量文本，重新進行復制操作
2、開通VIP，享受下載海量資源、文字任意復制等特權(quán)
- 電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范 GB 50472-2008
- 條文說明
- 1 總 則
- 3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設計要求
- 4 總體設計
- 5 工藝設計
- 6 潔凈建筑設計
- 7 空氣凈化和空調(diào)通風設計
- 8 給水排水設計
- 9 純水供應
- 10 氣體供應
- 11 化學品供應
- 12 電氣設計
- 13 防靜電與接地設計
- 14 噪聲控制
- 15 微振控制
- 15.1 一般規(guī)定
- 15.2 容許振動值
- 15.3 微振動控制設計
熱門資源
更多>
- 鍋爐房設計標準[附條文說明] GB 50041-2020
- 商店建筑設計規(guī)范[附條文說明] JGJ 48-2014
- 車庫建筑設計規(guī)范[附條文說明] JGJ 100-2015
- 建設工程消防設計審查驗收工作細則 2024年
- 城市消防站設計規(guī)范[附條文說明] GB 51054-2014
- 建筑廢棄物再生工廠設計標準[附條文說明] GB 51322-2018
- 建筑內(nèi)部裝修設計防火規(guī)范[附條文說明] GB 50222-2017
- 物流建筑設計規(guī)范[附條文說明] GB 51157-2016
- 倒置式屋面工程技術規(guī)程[附條文說明] JGJ 230-2010
- 實驗動物設施建筑技術規(guī)范[附條文說明] GB 50447-2008
15 2。容許振動值精密設備.儀器是微振控制設計的主要對象，當作用于精密設備。儀器的微振動超過一定的界限時。此類設備,儀器就無法進行正常的工作,不能按要求生產(chǎn)合格的產(chǎn)品或中間產(chǎn)品，這一界限就是微振動控制值或容許振動值，容許振動值是指保證精密儀器、設備正常工作條件下 其支撐結(jié)構(gòu)面的容許振動幅值，電子工業(yè)潔凈廠房內(nèi)的精密設備、儀器種類很多。它們都有各自的特性或所生產(chǎn)電子產(chǎn)品的不同精度有其特定的容許振動值、如集成電路生產(chǎn)的光刻機 圖像發(fā)生器 光導纖維生產(chǎn)的光纖拉制機 TFT.LCD生產(chǎn)的電子速曝光機，光刻機等，精密設備.儀器的容許振動值的物理量表達有多種,目前在微振控制設計時常用的有、振幅或容許振動位移量。μm、振動速度,量綱為mm.s.振動加速度、量綱為mm s2。精密設備、儀器根據(jù)本身的使用特點采用不同的物理量進行微振控制設計。精密設備。儀器的容許振動值一般是通過試驗確定或在實際生產(chǎn)運行中的經(jīng)驗總結(jié)或?qū)崪y數(shù)據(jù).這些值與設備 儀器的特性和產(chǎn)品工藝要求關系密切.目前微振控制設計時的容許振動值一般由生產(chǎn)工藝提供方或設備制造廠家按其用途提供這些數(shù)據(jù),本規(guī)范附錄C列出一些精密設備，儀器的容許振動值供參考.