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10，氣體供應(yīng)10 1，一般規(guī)定10.1。1，潔凈廠房使用的氣體有常用氣體，干燥壓縮空氣及特種氣體三大類、根據(jù)各種電子產(chǎn)品品種及其生產(chǎn)工藝的不同.使用氣體的品種。純度及雜質(zhì)含量是不相同的。表22是幾類電子產(chǎn)品所需氣體品種,10。1,3,潔凈廠房所使用氣體的制備 純化。儲存及分配系統(tǒng),除應(yīng)遵守本規(guī)范外，還應(yīng)遵守相關(guān)現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定 其中主要有。建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范、GB,50016、壓縮空氣站設(shè)計(jì)規(guī)范。GB。50029,氫氣站設(shè)計(jì)規(guī)范、GB、50177.氧氣站設(shè)計(jì)規(guī)范,GB.50030 工業(yè)金屬管道設(shè)計(jì)規(guī)范 GB，50316等,10，1，4，10，1.6.目前.各類電子工業(yè)潔凈廠房中、常用氣體管道的一次配管,均敷設(shè)在與用氣設(shè)備相關(guān)潔凈室、區(qū)。毗鄰的技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi) 除壓縮空氣管道外 其他各類氣體管道不得穿過與其無關(guān)的房間或不使用這些氣體的房間，有時(shí)為布置的方便或可減少大量的管材,必須穿越時(shí)應(yīng)設(shè)套管或雙層管.以免運(yùn)行中這些氣體泄漏.由于此類無關(guān)房間未采取通風(fēng)。報(bào)警措施。易引起事故、特種氣體管道由于管徑較小 一般均采用相對集中敷設(shè)、潔凈室。區(qū) 內(nèi)的惰性及無危害性氣體管道及其管架宜暗敷或設(shè)置在便于檢查，維護(hù)的裝飾面板內(nèi)、可燃 有毒或有害氣體管道應(yīng)外露敷設(shè) 可燃?xì)怏w,有毒氣體穿過潔凈室、區(qū),墻或樓板處管道應(yīng)設(shè)套管。該套管內(nèi)的氣體管道不得有焊縫.以避免因焊縫質(zhì)量問題 泄漏氣體后無法檢查.形成逐漸積聚 成為安全事故的隱患.10 1。7、電子工業(yè)潔凈廠房中。由于高純氣體管道內(nèi)輸送的氣體中雜質(zhì)含量都極低。一般氧含量都在10.6.10,10,水含量在10、5，10.9.而潔凈室生產(chǎn)環(huán)境中的氧濃度 水汽含量均在10.1以上.即高純氣體輸送管內(nèi)外的氧氣、水分的分壓差達(dá)105。1010.分壓差極大,根據(jù)國內(nèi)外許多研究試驗(yàn)和實(shí)際運(yùn)行都表明.高純氣體輸送過程中存在著被生產(chǎn)環(huán)境中的氣體或水分所污染的巨大潛在危險(xiǎn) 為此、防滲漏污染是高純氣體管路設(shè)計(jì)中必須認(rèn)真解決的技術(shù)措施.另外.在高純氣體管道施工安裝或檢修后或因故停氣恢復(fù)時(shí).管內(nèi)存在的各種雜質(zhì)氣體的吹掃或因停氣后不可避免地因管內(nèi)外分壓差而被污染，也需進(jìn)行吹掃置換達(dá)到所要求純度和雜質(zhì)容許含量.為了減少吹掃,置換時(shí)間，也要求高純氣體管路設(shè)計(jì)時(shí),必須采取相應(yīng)的技術(shù)措施、本條規(guī)定的3款規(guī)定正是這些技術(shù)措施的具體要求。它們是國內(nèi)外從事高純氣體設(shè)計(jì),安裝和運(yùn)行的科技人員多年經(jīng)驗(yàn)的總結(jié)、其中第2,3款作為強(qiáng)制性條文.是有關(guān)設(shè)計(jì)者必須遵守的規(guī)定，10.1,8.本條為電子工業(yè)潔凈廠房內(nèi)設(shè)有可燃?xì)怏w管道時(shí) 應(yīng)采取的安全技術(shù)措施，制定這些規(guī)定的理由是,1.在使用可燃?xì)怏w的潔凈室廠房內(nèi)，為避免可燃?xì)怏w的泄漏引發(fā)燃燒.爆炸事故、一般是將管路上的閥門設(shè)置在閥門箱內(nèi)，此類閥門箱均設(shè)有氣體泄漏報(bào)警和事故排風(fēng)裝置.2 目前、在電子工業(yè)潔凈廠房中的氫氣或含氫可燃?xì)怏w等接至用氣設(shè)備 無明火、的支管和放散管,為防火回火引發(fā)事故,均設(shè)有阻火器.但除此之外的可燃?xì)怏w管道大部分沒有設(shè)阻火器,所以本條規(guī)定.宜設(shè)置阻火設(shè)施、