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- 電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范 GB 50472-2008
- 1 總 則
- 2 術 語
- 3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設計要求
- 4 總體設計
- 5 工藝設計
- 6 潔凈建筑設計
- 7 空氣凈化和空調(diào)通風設計
- 8 給水排水設計
- 9 純水供應
- 9.1 一般規(guī)定
- 9.2 純水系統(tǒng)
- 9.3 管材、閥門和附件
- 10 氣體供應
- 11 化學品供應
- 12 電氣設計
- 13 防靜電與接地設計
- 14 噪聲控制
- 15 微振控制
- 附錄A 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)對空氣潔凈度等級的要求
- 附錄B 電子產(chǎn)品生產(chǎn)間／工序的火災危險性分類舉例
- 附錄C 精密儀器、設備的容許振動值舉例
- 附錄D 潔凈室(區(qū))性能測試和認證
- 本規(guī)范用詞說明
- 條文說明
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9。2 純水系統(tǒng)9。2.1,純水系統(tǒng)的設備配置除應滿足所需水量和水質的要求外,還應滿足運行靈活、安全可靠.便于操作管理,運行費用低等要求 9 2,2。純水的制備。儲存和輸送設備。應符合電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求,并應符合下列規(guī)定、1。純水的制備。終端處理設備的選型和制造材料的選擇,應滿足供水水質.終端水質的要求。2,純水儲罐 輸送設備的選型和制造材料的選擇。應確保水質污染少,密封性好.不得有滲氣現(xiàn)象，3,純水制備、儲存 輸送設備應有效地防止水質降低、9,2 3,純水系統(tǒng)應采用循環(huán)供水方式.宜采用單管式循環(huán)供水系統(tǒng)或設有獨立回水管的雙管式循環(huán)供水系統(tǒng).并應符合下列規(guī)定,1、循環(huán)回流水量應大于設計供水量的30.2 干管流速應大于等于1。5m.s，3、不循環(huán)支管的長度不應大于管徑的6倍、4、干管應設置清洗口，5、管道系統(tǒng)必須密封,不得有滲氣現(xiàn)象、6，應配備在線水質檢測儀表 7，對純水水質要求嚴格的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝，應采用雙管式循環(huán)供水系統(tǒng),9 2。4，純水系統(tǒng)中與純水直接接觸的設備表面應光潔 平整.化學性質穩(wěn)定。耐腐蝕.易清洗，易消毒 9。2,5，用于純水系統(tǒng)的水質檢測設備,量具、儀表.其連接不應使純水水質降低.其檢測范圍和精度應符合純水生產(chǎn)和檢驗的要求，9.2。6。純水精處理或終端處理裝置宜靠近用水生產(chǎn)設備設置.