9。純水供應(yīng)9、1.一般規(guī)定9,1.1,電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)中純水供應(yīng)是重要內(nèi)容之一、各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)純水水質(zhì).水量要求均不相同,在中國(guó)電子級(jí)水的技術(shù)指標(biāo)中,僅電阻率一項(xiàng)指標(biāo),EW 1級(jí)水為18MΩ。cm以上。而EW,4級(jí)水只為0,5MΩ cm.相差36倍。在美國(guó)試驗(yàn)與材料協(xié)會(huì) ASTM.D5127 電子及半導(dǎo)體工業(yè)用純水水質(zhì)要求,中E 1級(jí) E,4級(jí)的電阻率指標(biāo)也是這樣、并且對(duì)各等級(jí)純水中離子濃度要求相差更大、如Na離子 E,1級(jí)為0,05μg。L,E。1,2級(jí)為0。005μg、L.E,3級(jí)為5μg,L,E、4級(jí)為1000μg,L、E,1級(jí)與E 4級(jí)相差20000倍,各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)用水量的差異也是很大的。一些電子產(chǎn)品組裝廠或電子元件工廠的純水用量在5t、h以下、而TFT LCD潔凈廠房的純水用量達(dá)500.1000t,h,純水系統(tǒng)的原水水質(zhì)因各地區(qū),城市的水源不同相差很大,有的城市以河水為水源、即使是河水.其河水的源頭和沿途流經(jīng)地區(qū)的地質(zhì),地貌不同,水質(zhì)也是不同的。有的城市以井水為水源,井的深度不同、地域不同。地質(zhì)構(gòu)造不同均會(huì)千差萬(wàn)別 現(xiàn)在不少城市的水源包括河水、湖水 井水等 有的城市各個(gè)區(qū)、段供水水質(zhì)也不相同 所以純水系統(tǒng)的選擇,應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)的不同。差異很大.是否選擇原水預(yù)處理 預(yù)處理設(shè)備的種類.規(guī)模都與原水水質(zhì)有關(guān) 因此,電子工業(yè)潔凈廠房的純水系統(tǒng)的選擇應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)和電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)水質(zhì)的要求。結(jié)合純水系統(tǒng)的產(chǎn)水量以及當(dāng)時(shí) 當(dāng)?shù)氐募兯O(shè)備,材料供應(yīng)等情況、綜合進(jìn)行技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較確定.首先是技術(shù)上的可行 供水水質(zhì)的可靠,在此前提下。選用建設(shè)投資較少,運(yùn)行費(fèi)用低或建設(shè)投資回收年限較短的技術(shù)方案。9.1 4,電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈室.區(qū),內(nèi),一般不可避免地將會(huì)布置有純水支管或接至產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備的純水管道.為了減少污染物的擴(kuò)散,發(fā)生。積聚和易于清潔 純水管道的保溫材料選擇時(shí),應(yīng)選用不產(chǎn)生污染物的材料 如橡塑保溫材料等。其外表面應(yīng)平整,光滑,宜外包保護(hù)層,