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15.微振控制15、1，一般規(guī)定影響潔凈廠房?jī)?nèi)精密設(shè)備,儀器的微振控制設(shè)施不能達(dá)到微振動(dòng)容許值的因素主要有，環(huán)境的干擾振動(dòng),潔凈廠房?jī)?nèi)公用動(dòng)力系統(tǒng),凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)備，管道在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的振動(dòng)等.潔凈廠房的建筑基礎(chǔ)構(gòu)造 結(jié)構(gòu)選型 隔振縫的設(shè)置等能否滿足微振控制要求、微振動(dòng)控制設(shè)施中所采取的主動(dòng)隔振措施、被動(dòng)隔振措施的準(zhǔn)確性等，微振控制設(shè)施的工程設(shè)計(jì)，施工、測(cè)試和實(shí)際運(yùn)轉(zhuǎn)的實(shí)踐表明。潔凈廠房的精密設(shè)備.儀器的微振控制設(shè)施的設(shè)計(jì)。應(yīng)分階段進(jìn)行、這里所謂的分階段進(jìn)行微振控制設(shè)施的設(shè)計(jì)是根據(jù)微振動(dòng)測(cè)試所得到的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析研究后作為設(shè)計(jì)依據(jù)，按具體項(xiàng)目工程設(shè)計(jì)的要求、一般是按2，3階段進(jìn)行精密設(shè)備.儀器的微振控制設(shè)計(jì)工作，一是按場(chǎng)地環(huán)境測(cè)試數(shù)據(jù)和精密設(shè)備，儀器的微振控制要求、合理進(jìn)行所在潔凈廠房的總平面布置和建筑基礎(chǔ)以及隔振措施的設(shè)計(jì),二是根據(jù)建筑結(jié)構(gòu)振動(dòng)特性測(cè)試和精密設(shè)備安裝地點(diǎn)環(huán)境振動(dòng)測(cè)試及其分析研究結(jié)果。合理。準(zhǔn)確地進(jìn)行微振控制設(shè)施的設(shè)計(jì)。三是在微振控制設(shè)備的最終測(cè)試和分析研究后.若微振控制設(shè)施沒(méi)有達(dá)到控制要求時(shí)。尚需進(jìn)行調(diào)整設(shè)計(jì)、