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11,3 管材,閥門11 3。1.電子工業(yè)潔凈廠房所需化學(xué)品的品質(zhì)較多。包括具有可燃性 氧化性。腐蝕性的各種酸堿,有機(jī)溶劑等.為確保化學(xué)品的輸送質(zhì)量.安全運(yùn)行和使用壽命。輸送化學(xué)品的管道材質(zhì)應(yīng)根據(jù)管內(nèi)流過化學(xué)品的物理化學(xué)性質(zhì)進(jìn)行選擇、如酸堿類輸送管道材質(zhì)。通常采用聚四氟乙烯管,并以透明PVC管做保護(hù)套管、避免輸送管道被腐蝕和預(yù)防酸堿液泄漏時(shí)造成人身。設(shè)備 受傷。受損.為防止各類化學(xué)品,特別是一些高純化學(xué)品在輸送過程中被污染或因管道材質(zhì)選用不當(dāng).引發(fā)不應(yīng)發(fā)生的化學(xué)反應(yīng),影響化學(xué)品質(zhì)量.所以輸送化學(xué)品管道的材質(zhì)應(yīng)選用化學(xué)穩(wěn)定性良好和相容性好的材料、如.輸送有機(jī)溶劑類化學(xué)品管道材質(zhì)、通常采用管內(nèi)壁拋光的低碳不銹鋼管。SUS316L,EP,BA、等、本條為強(qiáng)制性條文 11 3.2.據(jù)調(diào)查了解.在電子工業(yè)潔凈廠房中、為防止有腐蝕性的酸堿類管道泄漏,殃及操作人員或生產(chǎn)設(shè)備,各類腐蝕性的酸堿類管道均采用帶套管的聚四氟乙烯管。PFA管 外套管為透明的PVC管等,在美國消防協(xié)會(huì)頒布的NFPA、318,潔凈室消防標(biāo)準(zhǔn)、中。有一條例外的說明 易燃液體的加壓輸送系統(tǒng)容許用非金屬管道輸送,但必須設(shè)置于熔點(diǎn)高于1093、2000 F,的金屬制造的外殼中。鑒于上述情況.作了本條規(guī)定,11,3,3,對(duì)一些使用多種化學(xué)品的管道供應(yīng)系統(tǒng)的國內(nèi)電子工業(yè)潔凈廠房的調(diào)查和相關(guān)的技術(shù)資料介紹表明,為確保化學(xué)品供應(yīng)輸送系統(tǒng)的安全和有利于連接多臺(tái)生產(chǎn)設(shè)備共用一條管路系統(tǒng) 一般在液體化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)中設(shè)有化學(xué)品供應(yīng)分配閥箱.Valve.Manifold Box.簡稱VMB 如圖9所示、故作本規(guī)定。
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