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7,4.空氣凈化設(shè)備7.4 1.電子工業(yè)潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的核心設(shè)備之一的空氣過(guò)濾器的正確選用和合理布置,是至關(guān)重要的 首先.應(yīng)遵循我國(guó)的相關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)合理選用空氣過(guò)濾器，包括空氣過(guò)濾器的處理風(fēng)量。效率，阻力.材質(zhì)和檢測(cè)方法。含檢漏方法,等。其次 根據(jù)具體工程項(xiàng)目的產(chǎn)品生產(chǎn)要求和凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì),合理安排各類(lèi)空氣過(guò)濾器的位置,在空調(diào)箱中.中效。高中效 空氣過(guò)濾器常安裝在正壓段，但近年來(lái)為了保持表冷器表面清潔.減少塵粒沉積 已有許多設(shè)計(jì)中在風(fēng)機(jī)前安裝中效空氣過(guò)濾器,圖7便是一例.鑒于目前我國(guó)的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)中還沒(méi)有去除化學(xué)污染物的空氣過(guò)濾器或其他去除裝置的標(biāo)準(zhǔn).只能參照相關(guān)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行選用和布置、7。4.2，風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組,FFU，是將風(fēng)機(jī)與高效過(guò)濾器.HEPA,或超高效過(guò)濾器.ULPA.組合在一起。構(gòu)成自身可提供推動(dòng)力的末端空氣凈化裝置.它由風(fēng)機(jī) 過(guò)濾器 機(jī)殼和電器控制等部分組成，F(xiàn)FU的主要技術(shù)性能包括風(fēng)量。一般以斷面風(fēng)速表示、余壓，能耗、效率.噪聲和控制方式等 目前國(guó)內(nèi)電子工業(yè)潔凈室應(yīng)用FFU越來(lái)越多。不僅在大面積 空氣潔凈度要求嚴(yán)格的單向流或混合流潔凈室。區(qū),采用。而且在各種用途的,面積不是很大的單向流或混合流潔凈室,區(qū)。中也有應(yīng)用 目前在應(yīng)用中受到各方面關(guān)注的主要是FFU裝置的經(jīng)濟(jì)性 投資.運(yùn)行費(fèi)，風(fēng)量和余壓。噪聲、能耗等性能參數(shù),表21是對(duì)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的幾個(gè)制造廠家生產(chǎn)的FFU裝置的實(shí)測(cè)性能參數(shù)、從表21中數(shù)據(jù)可見(jiàn) 4種同樣風(fēng)速。風(fēng)量下的FFU裝置。余壓、能耗相差較大,單臺(tái)噪聲均在60dB、A，以下 但是數(shù)十臺(tái).數(shù)百臺(tái)甚至上千臺(tái)FFU裝置安裝后的疊加噪聲將是不同的.據(jù)初步估算。為了達(dá)到本規(guī)范規(guī)定的單向流，混合流潔凈室噪聲不超過(guò)65dB,A 空態(tài).的要求。FFU在斷面風(fēng)速為0,45m.s的條件下，其余壓大于100Pa時(shí)，單臺(tái)FFU裝置的噪聲應(yīng)為50dB，A，左右、基于上述情況，本條對(duì)電子工業(yè)潔凈廠房中FFU裝置的設(shè)置，提出了5款基本要求 7.4.5、干表冷器是以中溫水為冷媒的空氣換熱設(shè)備,其功能只要求空氣降溫.不需去濕,即無(wú)凝結(jié)水析出，在與FFU聯(lián)合使用時(shí)，干表冷器設(shè)置在FFU回風(fēng)的通道上 其冷媒的進(jìn)水溫度應(yīng)計(jì)算確定,通過(guò)的風(fēng)速不宜過(guò)高.一般應(yīng)小于2m、s 干表冷器的風(fēng)阻力不應(yīng)太大.應(yīng)在30，40Pa左右，在正常運(yùn)行時(shí)雖無(wú)凝結(jié)水析出.但是為了安全.最好還應(yīng)設(shè)置滴水盤(pán)或其他排水措施、7.4,6,空氣處理機(jī)組是電子工業(yè)潔凈廠房?jī)艋照{(diào)系統(tǒng)的關(guān)鍵設(shè)備，它與舒適性空調(diào)系統(tǒng)中的空氣處理機(jī)組相比。首先應(yīng)做到氣密性好，既應(yīng)減少系統(tǒng)中的空氣往外泄漏.使能量消耗增加。又要防止、機(jī)組，周?chē)鄬?duì)臟的空氣滲入，機(jī)組.增大各級(jí)過(guò)濾器的負(fù)荷 所以本條規(guī)定機(jī)組的漏風(fēng)率不得大于1。第二,為了做到空氣處理機(jī)組在運(yùn)行維護(hù)中,不易滲漏、散發(fā)微粒和便于擦拭,清潔，不僅整體結(jié)構(gòu)應(yīng)耐壓具有足夠強(qiáng)度和剛度,而且內(nèi)表面應(yīng)乎整,光滑,并應(yīng)具有較好的保溫和防冷橋的性能.第三 潔凈室設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)表明.潔凈廠房能量消耗大、其中凈化空調(diào)系統(tǒng)及其冷熱源設(shè)備又是能量消耗大戶。送風(fēng)量大是能量消耗大的主要源頭、降低送風(fēng)量有多項(xiàng)技術(shù)措施 在凈化空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)確定送風(fēng)量的情況下 隨著電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中生產(chǎn)工藝設(shè)備開(kāi)啟數(shù)量和負(fù)荷率的變化,室內(nèi)外溫濕度的變化等因素的變化 都可能需要調(diào)節(jié)送風(fēng)量,另外.凈化空調(diào)系統(tǒng)中的初 中、高效過(guò)濾器的阻力是不斷變化的，為此送風(fēng)機(jī)采取變頻變速措施?？烧{(diào)節(jié)風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)數(shù).調(diào)節(jié)送風(fēng)量.減少電能消耗,是潔凈廠房的重要節(jié)能措施之一 但是送風(fēng)機(jī)的變頻變速措施的設(shè)置.一定要結(jié)合具體工程項(xiàng)目的實(shí)際情況,合理進(jìn)行選擇，