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7,2。氣流流型和送風(fēng)量7，2.1、氣流流型的確定應(yīng)充分考慮的因素有,滿足空氣潔凈度等級要求。一次建設(shè)投資、運行維護(hù)費 空氣過濾器等更換方便等.本條推薦的潔凈室、區(qū)，內(nèi)氣流流型的設(shè)計要求，是基于數(shù)十年電子工廠潔凈廠房工作實踐的經(jīng)驗總結(jié),并結(jié)合國際標(biāo)準(zhǔn)化組織ISO,TC，209技術(shù)委員會已經(jīng)頒布、實施的,潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn).IS0,14644,1、IS0、14644，4中有關(guān)氣流流型的要求和近年來國內(nèi)建成投產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房所采用的氣流流型的實際狀況制定的、圖4是IS0，14644，4中對潔凈室氣流流型的圖示.表19是一些電子工業(yè)潔凈廠房的氣流流型.上述情況表明?？諝鉂崈舳鹊燃墳?，5級時 基本上采用單向流或混合流、空氣潔凈度等級為6，9級時 基本上采用非單向流 且混合流流型可應(yīng)用于所有各種空氣潔凈度等級的潔凈室、7,2.2。潔凈室的送風(fēng)量是保證空氣潔凈度等級的送風(fēng)量 應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)、潔凈廠房設(shè)計規(guī)范，GB.50073 2001中第6、3。2的規(guī)定 7。2 3,制定本條的依據(jù)是 1,表20是根據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn)化組織ISO,TC、209技術(shù)委員會編寫，發(fā)布的，潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn),ISO、14644，4.潔凈室的設(shè)計.建造和試運行,中的表B、2微電子潔凈室的實例。列出了空氣潔凈度等級為2、8級的氣流流型、潔凈送風(fēng)量的數(shù)據(jù) 注,在制定最佳設(shè)計條件前。應(yīng)該詳細(xì)規(guī)定并商定與ISO等級有關(guān)的占用狀況、表列的氣流形式表示該等級潔凈室的氣流特性U為單向流.N為非單向流.M為混合氣流。U和N組合,平均氣流速度是通常規(guī)定潔凈室內(nèi)單向流的方法。對單向流速度的要求取決于局部的參數(shù)。如幾何圖形和熱參數(shù)。不一定是過濾器的面速度，每小時換氣次數(shù)是規(guī)定非單向流和混合氣流的方法 建議的換氣次數(shù)是指3,0m的室高度.應(yīng)考慮不透水的屏障技術(shù)，污染源和待保護(hù)的區(qū)域要有效地分隔開、可以用物理或氣流屏障,2，近年來 一些8.12.集成電路芯片生產(chǎn)用潔凈廠房中主要生產(chǎn)設(shè)備配置微環(huán)境裝置時，潔凈室采用Ballroom，微環(huán)境時.其潔凈廠房內(nèi)潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級為5級或6級。氣流流型為非單向流,潔凈生產(chǎn)區(qū)送風(fēng)一般選用FFU、吊頂上FFU的滿布率為25，左右、微環(huán)境內(nèi)的空氣潔凈度等級為2.4級，3,單向流潔凈室的平均風(fēng)速下限值,在自動化，機(jī)械化程度很高的潔凈室、區(qū),內(nèi)基本無人的情況下,有的潔凈室，區(qū)。僅采用0、11m,s，