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9 純水供應9、1 一般規(guī)定9、1 1,電子工業(yè)潔凈廠房設計中純水供應是重要內容之一、各種電子產品生產工藝對純水水質。水量要求均不相同.在中國電子級水的技術指標中 僅電阻率一項指標,EW,1級水為18MΩ、cm以上,而EW,4級水只為0,5MΩ cm 相差36倍。在美國試驗與材料協(xié)會,ASTM,D5127,電子及半導體工業(yè)用純水水質要求、中E、1級,E、4級的電阻率指標也是這樣。并且對各等級純水中離子濃度要求相差更大、如Na離子,E.1級為0.05μg L,E,1.2級為0.005μg。L。E,3級為5μg,L,E 4級為1000μg、L,E,1級與E、4級相差20000倍.各種電子產品生產用水量的差異也是很大的 一些電子產品組裝廠或電子元件工廠的純水用量在5t,h以下。而TFT、LCD潔凈廠房的純水用量達500,1000t,h,純水系統(tǒng)的原水水質因各地區(qū) 城市的水源不同相差很大、有的城市以河水為水源 即使是河水。其河水的源頭和沿途流經地區(qū)的地質,地貌不同,水質也是不同的。有的城市以井水為水源 井的深度不同、地域不同 地質構造不同均會千差萬別,現(xiàn)在不少城市的水源包括河水。湖水。井水等。有的城市各個區(qū).段供水水質也不相同 所以純水系統(tǒng)的選擇、應根據(jù)原水水質的不同、差異很大 是否選擇原水預處理、預處理設備的種類.規(guī)模都與原水水質有關。因此,電子工業(yè)潔凈廠房的純水系統(tǒng)的選擇應根據(jù)原水水質和電子產品生產工藝對水質的要求、結合純水系統(tǒng)的產水量以及當時、當?shù)氐募兯O備.材料供應等情況。綜合進行技術經濟比較確定。首先是技術上的可行。供水水質的可靠,在此前提下 選用建設投資較少,運行費用低或建設投資回收年限較短的技術方案,9,1.4、電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈室、區(qū),內 一般不可避免地將會布置有純水支管或接至產品生產設備的純水管道 為了減少污染物的擴散。發(fā)生.積聚和易于清潔,純水管道的保溫材料選擇時 應選用不產生污染物的材料、如橡塑保溫材料等、其外表面應平整,光滑。宜外包保護層,
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