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- 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 GB 50472-2008
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計要求
- 4 總體設(shè)計
- 5 工藝設(shè)計
- 6 潔凈建筑設(shè)計
- 7 空氣凈化和空調(diào)通風(fēng)設(shè)計
- 8 給水排水設(shè)計
- 9 純水供應(yīng)
- 10 氣體供應(yīng)
- 11 化學(xué)品供應(yīng)
- 12 電氣設(shè)計
- 13 防靜電與接地設(shè)計
- 14 噪聲控制
- 15 微振控制
- 15.1 一般規(guī)定
- 15.2 容許振動值
- 15.3 微振動控制設(shè)計
- 附錄A 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)對空氣潔凈度等級的要求
- 附錄B 電子產(chǎn)品生產(chǎn)間／工序的火災(zāi)危險性分類舉例
- 附錄C 精密儀器、設(shè)備的容許振動值舉例
- 附錄D 潔凈室(區(qū))性能測試和認(rèn)證
- 本規(guī)范用詞說明
- 條文說明
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15 微振控制15 1.一般規(guī)定15，1。1,潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計應(yīng)分階段進(jìn)行，應(yīng)包括設(shè)計 施工和投產(chǎn)等各階段的微振動測試，廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計 動力設(shè)備隔振設(shè)計和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計等、15 1,2,設(shè)計有微振控制要求的潔凈廠房時.應(yīng)符合下列規(guī)定,1.總平面布置時，應(yīng)核實(shí)相鄰廠房，建筑物或構(gòu)筑物對精密設(shè)備,儀器的振動影響、2.設(shè)有精密設(shè)備，儀器的潔凈廠房 其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造。結(jié)構(gòu)選型，隔振縫的設(shè)置。潔凈室裝修等應(yīng)按微振控制要求設(shè)計，3.對設(shè)有精密設(shè)備。儀器的潔凈室。區(qū) 有振動影響的動力設(shè)備及其管道。應(yīng)采取主動隔振措施，4。潔凈室、區(qū).內(nèi)精密設(shè)備、儀器.經(jīng)測試確認(rèn)受到周圍振動影響時,應(yīng)采取被動隔振措施.