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10.2.常用氣體系統(tǒng)10.2,1 常用氣體主要包括氫氣、氮?dú)?氧氣 氬氣和氦氣，在電子工廠中它們的供氣方式主要有三種 第一種是在電子工廠內(nèi)或鄰近處設(shè)制氣裝置，采用管道輸送至用氣廠房，車間或設(shè)備 第二種 外購(gòu)液態(tài)氣體，在電子廠房?jī)?nèi)設(shè)液態(tài)氣體儲(chǔ)罐,氣化器及氣體過(guò)濾 調(diào)壓 輸配裝置。由管道送至用氣廠房、車間或設(shè)備。第三種,外購(gòu)瓶裝壓縮氣體，瓶裝壓縮氣體有單個(gè)鋼瓶或鋼瓶集裝格或長(zhǎng)管氣瓶拖車等形式 在電子工廠內(nèi)設(shè)壓縮氣體鋼瓶?jī)?chǔ)存。氣體分配裝置或匯流排，再由管道輸送至用氣廠房，車間或設(shè)備。表23是三種方式的比較、10,2、3、10.2,5 這3條是對(duì)電子工業(yè)潔凈廠房中的氣體純化裝置的設(shè)置。氣體入口室的設(shè)置和氣體純化間,氣體入口室內(nèi)設(shè)有氫氣等可燃?xì)怏w純化裝置或管道時(shí).為了安全.穩(wěn)定運(yùn)行作的規(guī)定或要求.1,根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和氣源的品質(zhì) 電子工業(yè)潔凈廠房?jī)?nèi)常常設(shè)有不同類型的氣體純化裝置、如電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求氣體中雜質(zhì)含量達(dá)到10，9時(shí),即使管道供應(yīng)或外購(gòu)氣瓶的氣體純度達(dá)99 99,或99.999、尚需設(shè)置金屬吸氣劑法.低溫吸附法和鈀膜擴(kuò)散法等類氣體純化裝置對(duì)氣體進(jìn)行提純。2。根據(jù)國(guó)內(nèi)已建各類電子工業(yè)潔凈廠房的狀況、對(duì)于用氣設(shè)備較多的廠房,為方便管理和安全運(yùn)行,各種氣體純化裝置大多設(shè)在氣體純化間，站,內(nèi).并且常常將多種氣體純化裝置集中設(shè)置在一氣體純化間、站.內(nèi)。一般氧氣純化裝置由于不需要用氫氣進(jìn)行活化再生.配置非防爆電氣裝置時(shí),可將氧氣純化裝置與配置有防爆電氣裝置的氣體純化裝置分開設(shè)置，3,為了對(duì)進(jìn)入電子工業(yè)潔凈廠房的各種氣體管道進(jìn)行集中管理.目前國(guó)內(nèi)各工廠大多設(shè)有氣體入口室 也有的工廠為管理方便將部分氣體純化裝置或全部氣體純化裝置也設(shè)置在氣體入口室內(nèi)或?qū)怏w進(jìn)入潔凈廠房的相關(guān)控制閥門設(shè)在氣體純化間內(nèi) 4,由于氣體終端純化裝置是確保用氣設(shè)備處的氣體品質(zhì)。并且這類設(shè)備對(duì)氣體品質(zhì)要求均十分嚴(yán)格 為了減少高純氣體輸送過(guò)程被污染和減少管路投資以及管理方便，宜將氣體終端純化設(shè)備設(shè)在鄰近用氣點(diǎn)處。5、對(duì)于甲類火災(zāi)危險(xiǎn)生產(chǎn)的氣體純化間、站，或氣體入口室，根據(jù)現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) 建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范 GB。50016的要求。應(yīng)靠外墻設(shè)置 6，氫氣等可燃?xì)怏w引入管道上。應(yīng)設(shè)自動(dòng)切斷閥、對(duì)潔凈室.區(qū),的安全可靠運(yùn)行十分有利，一旦出現(xiàn)異常時(shí) 切斷可燃?xì)怏w氣源，防止事故擴(kuò)大,美國(guó)消防協(xié)會(huì)頒布的NFPA.318、潔凈室消防標(biāo)準(zhǔn),第6，6，3條規(guī)定、可燃和有毒氣體探測(cè)器必須啟動(dòng)報(bào)警器和切斷氣體供給。7，設(shè)有氫氣等可燃?xì)怏w的氣體純化間或氣體入口室，應(yīng)設(shè)有良好的自然通風(fēng)設(shè)施,以確保一旦氫氣等泄漏時(shí)及時(shí)排放。避免在室內(nèi)積累.當(dāng)房間內(nèi)泄漏氣體達(dá)到規(guī)定濃度時(shí).氣體泄漏報(bào)警裝置報(bào)警并啟動(dòng)事故排風(fēng)裝置.工程實(shí)踐證明 自然通風(fēng) 事故排風(fēng)均為可靠的 行之有效的安全技術(shù)措施，10、2 6。鑒于氧氣的特性.氧氣與油脂接觸后.如碰上著火源。極易引起燃燒事故，所以氧氣管道,閥門及附件均應(yīng)忌油、都必須進(jìn)行嚴(yán)格的脫脂處理、氧氣是典型的氧化性氣體.只要在氧氣管道內(nèi)因各種原因存在機(jī)械雜質(zhì).鐵銹等可燃物時(shí).一旦有著火源都極易引發(fā)著火燃燒事故 因此氧氣管道等均應(yīng)設(shè)有導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施.以及時(shí)消除管道內(nèi)氣流摩擦等因素產(chǎn)生的靜電聚集,當(dāng)潔凈廠房因各種原因出現(xiàn)火情或重大事故時(shí)，為了避免引發(fā)氧氣管道產(chǎn)生次生災(zāi)害、減少損失。應(yīng)及時(shí)切斷氧氣供氣氣源。為此制定本條規(guī)定，并為強(qiáng)制性條文.10,2.9，由于潔凈室。區(qū),內(nèi)密閉性好。為避免各類氣體泄漏后不易排出 積聚在潔凈室、區(qū)、內(nèi)或技術(shù)夾層、技術(shù)夾道內(nèi),根據(jù)電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì),建造的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)。氣體管道的連接應(yīng)采用焊接.當(dāng)氣體管道的材質(zhì)采用不銹鋼管時(shí) 應(yīng)采用氬弧焊 并宜采用等離子熔融對(duì)接焊。氣體管道與設(shè)備或閥門的連接宜采用表面密封接頭、VCR 或雙卡套。高純氣體管道應(yīng)采用表面密封接頭 VCR.采用雙卡套接頭時(shí)、其密封材料宜采用金屬或聚四氟乙烯墊