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13.2。防靜電措施13、2,1,潔凈廠房防靜電環(huán)境中,防靜電地面的面層結(jié)構(gòu)和材料應符合下列要求,1,防靜電地面面層的選擇,應滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求 2,防靜電地面的表層應采用靜電耗散性材料,靜電耗散性材料表面電阻率應為2。5,104,1.109Ω.3、防靜電地面應設置導靜電泄放設施和接地連接.其地面對地泄放電阻值應為1 105,1 108Ω,13、2 2,潔凈廠房防靜電環(huán)境的吊頂,墻面和柱面的裝飾設計 應符合下列要求。1。一級防靜電工作區(qū)的地面 墻面和柱面應采用導靜電型。導靜電型地面。墻面。柱面的表面電阻,對地電阻應為2,5、104,1 106Ω、摩擦起電電壓不應大于100V,靜電半衰期不應大于0,1s 2,二級防靜電工作區(qū)的地面.墻面.柱面.頂棚、門和軟簾應采用靜電耗散型 靜電耗散型地面。墻面,柱面和頂棚.門的表面電阻,對地電阻應為1 106,1、109Ω 摩擦起電電壓不應大于200V 靜電半衰期不應大于1s.但軟簾的摩擦起電電壓不應大于300V,3 三級防靜電工作區(qū)的地面。墻面和柱面宜根據(jù)生產(chǎn)工藝要求采用靜電耗散型材料或低起電材料、頂棚 門等宜采用低起電材料 選用靜電耗散型材料的地面 墻面和柱面。應符合本條第2款的要求 選用低起電材料的地面,墻面。柱面 頂棚,門等的摩擦起電電壓不應大于1000V 13、2,3,潔凈廠房防靜電環(huán)境的門窗設計 應符合下列要求,1,應選用靜電耗散材料制作門窗或采用耗散材料貼面。2.金屬門窗表面應涂刷靜電耗散性涂層、并應接地,3,室內(nèi)隔斷和觀察窗安裝大面積玻璃時,玻璃表面應粘貼靜電耗散性透明薄膜或噴涂靜電耗散性涂層,13、2。4 潔凈廠房防靜電環(huán)境的裝修設計應符合下列要求,1。各類裝修材料應具有表面靜電耗散性能、不得使用未經(jīng)表面改性處理的高分子絕緣的裝飾材料.2 各類裝修的飾面應平整光滑 13。2、5,潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)送風口和風管,應選用導電材料制作、并應接地,13.2、6、潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)。各種配管使用部分絕緣性材質(zhì)時、應在其表面安裝金屬網(wǎng)、并應將其接地、當使用導電性橡膠軟管時,應在軟管上安裝與其緊密結(jié)合的金屬導體,并應采用接地引線與其可靠連接接地、13,2 7,潔凈廠房防靜電環(huán)境中.應根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要設置靜電消除器,防靜電安全工作臺。
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