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- 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 GB 50472-2008
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計要求
- 4 總體設(shè)計
- 5 工藝設(shè)計
- 6 潔凈建筑設(shè)計
- 7 空氣凈化和空調(diào)通風(fēng)設(shè)計
- 8 給水排水設(shè)計
- 9 純水供應(yīng)
- 10 氣體供應(yīng)
- 10.1 一般規(guī)定
- 10.2 常用氣體系統(tǒng)
- 10.3 干燥壓縮空氣系統(tǒng)
- 10.4 特種氣體系統(tǒng)
- 11 化學(xué)品供應(yīng)
- 12 電氣設(shè)計
- 13 防靜電與接地設(shè)計
- 14 噪聲控制
- 15 微振控制
- 附錄A 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)對空氣潔凈度等級的要求
- 附錄B 電子產(chǎn)品生產(chǎn)間／工序的火災(zāi)危險性分類舉例
- 附錄C 精密儀器、設(shè)備的容許振動值舉例
- 附錄D 潔凈室(區(qū))性能測試和認(rèn)證
- 本規(guī)范用詞說明
- 條文說明
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10 4,特種氣體系統(tǒng)10，4,1，特種氣體應(yīng)采用外購鋼瓶氣體。液態(tài)氣體供應(yīng)。在電子工廠內(nèi)應(yīng)設(shè)置儲存，分配系統(tǒng).10 4。2 潔凈廠房內(nèi)特種氣體的儲存分配間應(yīng)采用耐火極限不低于2.0h不燃燒體的隔墻與潔凈室、區(qū)。分隔 隔墻上的門窗應(yīng)為甲級防火門窗 10,4。3.潔凈室.區(qū) 內(nèi)可燃或有毒的特種氣體分配系統(tǒng)的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定，1。特種氣體鋼瓶 含硅烷或硅烷混合物 應(yīng)設(shè)置在具有連續(xù)機(jī)械排風(fēng)的特氣柜中,2，排風(fēng)機(jī)，泄漏報警,自動切斷閥均應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源、3。一個特氣分配系統(tǒng)供多臺生產(chǎn)設(shè)備使用時，應(yīng)設(shè)置多路閥門箱。4,可燃性.氧化性特種氣體管道的設(shè)置應(yīng)符合本規(guī)范第10 1和10 2節(jié)的有關(guān)規(guī)定,10,4、4。特種氣體分配系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置吹掃盤,并應(yīng)符合下列規(guī)定.1。應(yīng)設(shè)置應(yīng)急切斷裝置，2。應(yīng)設(shè)置過流量控制裝置 3、應(yīng)設(shè)置手動隔離閥，4,吹掃氣源不宜采用常用氣體系統(tǒng)、5 不相容特種氣體的吹掃盤不得共用吹掃氣瓶.10,4、5,硅烷或硅烷混合物的氣瓶應(yīng)存放在潔凈廠房建筑外的儲存區(qū)內(nèi) 儲存區(qū)的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定.1，儲存區(qū)應(yīng)至少三面敞開。氣瓶應(yīng)固定在鋼制框架上 2。氣瓶或氣瓶組與周圍的構(gòu)筑物或圍欄的間距應(yīng)大于3、0m.3.儲存區(qū)頂棚的高度應(yīng)大于3。5m.