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5。5。設(shè)備及工器具5,5。1。潔凈室。區(qū) 內(nèi)應(yīng)采用具有防塵,防污染的生產(chǎn)設(shè)備和輔助生產(chǎn)設(shè)備。并應(yīng)符合下列要求、1、表面應(yīng)光潔，易清潔、不積塵.不揮發(fā)化學(xué)物質(zhì)、2，設(shè)備的傳動(dòng)部件等應(yīng)密封性能好 并應(yīng)防止?jié)櫥?、冷卻劑等的泄漏、3,對(duì)生產(chǎn)中發(fā)塵。排熱量大或排出有毒.可燃?xì)怏w的設(shè)備。應(yīng)采取防擴(kuò)散措施、4、設(shè)備的金屬外殼應(yīng)設(shè)置接地設(shè)施。5。5.2.當(dāng)設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級(jí)的潔凈室,區(qū)，時(shí)、宜采取密封隔斷措施 5 5。3,潔凈室,區(qū) 內(nèi)的設(shè)備宜選用低噪聲產(chǎn)品.當(dāng)所選設(shè)備超過(guò)潔凈室噪聲容許值時(shí)。應(yīng)采取隔聲措施、5 5、4,潔凈室、區(qū)，應(yīng)設(shè)置對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程所使用的工器具進(jìn)行凈化處理的設(shè)施.5。5,5,潔凈室。區(qū)，內(nèi),電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中各種零 部件存放和傳送、宜采用專用容器.用于存放和傳送的專用容器,應(yīng)符合下列規(guī)定，1.制作材料應(yīng)光潔,不吸濕 不銹蝕。不散發(fā)污染物，防靜電。并在空氣中不應(yīng)被氧化。2 應(yīng)密封性能好，3、當(dāng)存放物有嚴(yán)格的潔凈度要求時(shí)。宜充填高純度或干燥氮?dú)?4。構(gòu)造 外形應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求,并應(yīng)方便操作和運(yùn)送，5，5，6 潔凈室,區(qū) 內(nèi)設(shè)置真空泵時(shí)。應(yīng)符合下列規(guī)定、1,使用油潤(rùn)滑的真空泵應(yīng)設(shè)置除油裝置.除油后尾氣應(yīng)排入排氣系統(tǒng).2、對(duì)傳輸含有可燃?xì)怏w的真空泵,可燃?xì)怏w濃度超過(guò)爆炸下限的20.時(shí) 應(yīng)設(shè)尾氣處理裝置,在排入排氣系統(tǒng)前應(yīng)去除或稀釋可燃?xì)怏w組分、3 傳輸易燃.自燃化學(xué)品或高濃度氧氣的真空泵，應(yīng)采用不燃泵油.并應(yīng)配置氮?dú)獯祾?，氮?dú)獯祾呖刂崎y應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖，