7.5.采暖 通風(fēng)7。5。1,為使?jié)崈羰遥瑓^(qū) 內(nèi)嚴格做到不產(chǎn)生或少產(chǎn)生塵粒,不滯留或少滯留塵粒 若潔凈室,1X、需設(shè)置采暖設(shè)施時.不應(yīng)采用散熱器采暖,據(jù)調(diào)查了解 目前電子產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈室 區(qū)、內(nèi)大多不采用散熱器采暖、為此本條作了嚴格規(guī)定,并為強制性條文,7,5、2.為確保局部排風(fēng)系統(tǒng)的安全,穩(wěn)定運行 電子工業(yè)潔凈廠房內(nèi)局部排風(fēng)系統(tǒng)單獨設(shè)置的要求.應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準.潔凈廠房設(shè)計規(guī)范,GB。50073。2001中第6.5,3條規(guī)定、7。5,3 一些電子工業(yè)潔凈廠房內(nèi)使用各類品種,一定數(shù)量的可燃 易爆和有毒物質(zhì)。其中以集成電路芯片制造工廠為最多,為確保電子產(chǎn)品生產(chǎn)的安全??煽窟\行,通常在使用這些物質(zhì)的生產(chǎn)設(shè)備均設(shè)有局部排風(fēng)系統(tǒng).在芯片制造用潔凈廠房中的可燃。有毒或有害物質(zhì)主要有。酸堿類.HF、HCl、H2SO4。HN03,NH3等,有機類、IPA,異丙醇,CHCl3。NBA、HMDS,丙酮等.特種氣體。AsH3、SiH4,PH3 B2H6.HCl、NF3。WF6,SiHCl3 CF4,SF6,N20等,這些物質(zhì)大部分對人類生存環(huán)境具有巨大的危害性,為此、電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計中必須采取必要的技術(shù)措施.將危害性減少到最小,同時、還應(yīng)采取技術(shù)措施,防止這些物質(zhì)的排氣系統(tǒng)對所在廠房的安全。衛(wèi)生造成威脅或危害。本條的各項要求以此為出發(fā)點作出相應(yīng)的規(guī)定?,F(xiàn)對一些規(guī)定說明如下,1、排氣系統(tǒng)中、含有水蒸氣或凝結(jié)物質(zhì)時。若不能排除系統(tǒng)中的凝結(jié)液。將使排氣系統(tǒng)不能正常運行或造成安全事故或影響潔凈室,區(qū) 的空氣潔凈度。為此本條規(guī)定、此類排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)坡度及排放口 以便及時排出凝結(jié)物質(zhì),2 排氣介質(zhì)中含有劇毒物質(zhì)時、該排風(fēng)系統(tǒng)在運行過程中是不能停止運轉(zhuǎn)的.一旦停機,將對潔凈室工作人員和潔凈廠房周圍環(huán)境帶來致命的或巨大的危害 為此本條規(guī)定。此類排風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)機和處理設(shè)備應(yīng)設(shè)備用,并設(shè)置應(yīng)急電源 排風(fēng)介質(zhì)中含易燃,易爆等危險物質(zhì)或工藝可靠性要求較高時,為確保安全運行.排風(fēng)系統(tǒng)也不能停止運轉(zhuǎn)。為此本條規(guī)定,此類系統(tǒng)的排風(fēng)機應(yīng)設(shè)備用。并應(yīng)設(shè)應(yīng)急電源.3,現(xiàn)將美國消防協(xié)會。NFPA,的NFPA。318。潔凈室消防標準.中的相關(guān)條文摘錄如下、供參考,第3 5 1條.排風(fēng)系統(tǒng)必須設(shè)有自動應(yīng)急電源、第3,5、2條。應(yīng)急電源工作時、必須達到不低于排氣系統(tǒng)50。的容量.第8 8節(jié)。使用可燃或易燃化學(xué)品的設(shè)備.必須具有可燃或易燃氣體或蒸氣濃度降低至爆炸下限20。以下的排氣系統(tǒng),7,5.4.為了避免含有毒性。爆炸危險性物質(zhì)的排氣管路向沿程或路由區(qū)域泄漏。形成安全事故的發(fā)生,本條規(guī)定 此類排氣管路內(nèi)壓力應(yīng)低于路由區(qū)域內(nèi)的壓力.即保持一定的負壓值,美國消防協(xié)會的NFPA,318.潔凈室消防標準、中第3、2,3條規(guī)定,含有有毒化學(xué)物質(zhì)的排氣系統(tǒng)壓力、必須低于通過建筑區(qū)域的正常壓力、7,5,6、制定本條的主要依據(jù)有.1。按現(xiàn)行國家標準,采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī)范 GB50019。2003中第5、4。3條制定本條第1款規(guī)定。2、根據(jù)現(xiàn)行國家標準,采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī)范 GB50019,2003中第5,4,6條規(guī)定本條第2款明確規(guī)定在潔凈室,區(qū)、和潔凈室.區(qū)。外設(shè)手動控制開關(guān).為運行安全和管理要求,并規(guī)定應(yīng)設(shè)自動控制開關(guān),3,參照美國消防標準NFPA。318、潔凈室消防標準 中第3 5.1條.排氣通風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源、為確保事故排風(fēng)系統(tǒng)及時投入運行、不會因停電無法運行而誘發(fā)事故的發(fā)生。制定本條第3款的規(guī)定。