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- 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 50472-2008
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語(yǔ)
- 3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)要求
- 4 總體設(shè)計(jì)
- 4.1 位置選擇和總平面布置
- 4.2 潔凈室型式
- 4.3 潔凈室布置和綜合協(xié)調(diào)
- 5 工藝設(shè)計(jì)
- 6 潔凈建筑設(shè)計(jì)
- 7 空氣凈化和空調(diào)通風(fēng)設(shè)計(jì)
- 8 給水排水設(shè)計(jì)
- 9 純水供應(yīng)
- 10 氣體供應(yīng)
- 11 化學(xué)品供應(yīng)
- 12 電氣設(shè)計(jì)
- 13 防靜電與接地設(shè)計(jì)
- 14 噪聲控制
- 15 微振控制
- 附錄A 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)對(duì)空氣潔凈度等級(jí)的要求
- 附錄B 電子產(chǎn)品生產(chǎn)間／工序的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類舉例
- 附錄C 精密儀器、設(shè)備的容許振動(dòng)值舉例
- 附錄D 潔凈室(區(qū))性能測(cè)試和認(rèn)證
- 本規(guī)范用詞說明
- 條文說明
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4。2 潔凈室型式4 2、1.潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)、空氣潔凈度等級(jí)和布置要求分為隧道式.開放式和微環(huán)境等、也可按氣流流型分為單向流潔凈室.非單向流潔凈室和混合流潔凈室。4，2、2，電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間 應(yīng)包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層,潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層.4,2 3 潔凈室型式的選擇應(yīng)綜合生產(chǎn)工藝要求.節(jié)約能源、減少投資和降低運(yùn)行費(fèi)用等因素確定，各種空氣潔凈度等級(jí)的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室 對(duì)空氣潔凈度凈度要求嚴(yán)格時(shí) 宜采用微環(huán)境等型式,