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- 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 50472-2008
- 條文說明
- 1 總 則
- 3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)要求
- 4 總體設(shè)計(jì)
- 5 工藝設(shè)計(jì)
- 6 潔凈建筑設(shè)計(jì)
- 7 空氣凈化和空調(diào)通風(fēng)設(shè)計(jì)
- 8 給水排水設(shè)計(jì)
- 9 純水供應(yīng)
- 10 氣體供應(yīng)
- 11 化學(xué)品供應(yīng)
- 11.1 一般規(guī)定
- 11.2 化學(xué)品儲(chǔ)存、輸送
- 11.3 管材、閥門
- 12 電氣設(shè)計(jì)
- 13 防靜電與接地設(shè)計(jì)
- 14 噪聲控制
- 15 微振控制
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- 建筑鋼結(jié)構(gòu)防火技術(shù)規(guī)范[附條文說明] GB 51249-2017
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- 工業(yè)企業(yè)總平面設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說明] GB 50187-2012
- 農(nóng)村防火規(guī)范[附條文說明] GB 50039-2010
- 既有建筑維護(hù)與改造通用規(guī)范[附條文說明] GB 55022-2021
- 公共建筑節(jié)能設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)[附條文說明] GB 50189-2015
11?；瘜W(xué)品供應(yīng)11 1 一般規(guī)定11，1、1、電子工業(yè)潔凈廠房常常需使用各種化學(xué)品,根據(jù)電子產(chǎn)品品種及其生產(chǎn)工藝的不同、各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)所使用的化學(xué)品是不相同的、其中以集成電路芯片制造過程 TFT LCD生產(chǎn)過程所需的化學(xué)品品種多 有的純度要求嚴(yán)格。表25是這兩種電子產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈廠房?jī)?nèi)所用的主要化學(xué)品種類.表26是有關(guān)資料提出的集成電路芯片64M生產(chǎn)過程部分化學(xué)品的質(zhì)量要求 11，1。2。電子工業(yè)潔凈廠房所用化學(xué)品如表25所列品種較多.它們的分類.儲(chǔ)存應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn) 常用危險(xiǎn)化學(xué)品的分類及標(biāo)志,GB.13690.常用危險(xiǎn)化學(xué)品貯存通則.GB，15603等的相關(guān)規(guī)定。危險(xiǎn)化學(xué)品按主要危險(xiǎn)特性分為8類。即第1類爆炸品。第2類壓縮氣體和液化氣體 第3類易燃液體,第4類易燃固體、自燃物品和遇濕易燃物品,第5類氧化劑和有機(jī)氧化物 第6類有毒品 第7類放射性物品 第8類腐蝕品,由于各類化學(xué)品的性質(zhì)不同.因此常用化學(xué)危險(xiǎn)品應(yīng)分區(qū) 分類,分庫儲(chǔ)存。并不得與禁忌物料混合儲(chǔ)存，儲(chǔ)存化學(xué)危險(xiǎn)品的建筑物不得有地下室或其他地下建筑,其耐火等級(jí),層數(shù)。占地面積、安全疏散和防火間距。應(yīng)符合國家有關(guān)規(guī)定。