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- 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 GB 50472-2008
- 條文說明
- 1 總 則
- 3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計要求
- 4 總體設(shè)計
- 5 工藝設(shè)計
- 6 潔凈建筑設(shè)計
- 7 空氣凈化和空調(diào)通風(fēng)設(shè)計
- 8 給水排水設(shè)計
- 9 純水供應(yīng)
- 10 氣體供應(yīng)
- 11 化學(xué)品供應(yīng)
- 12 電氣設(shè)計
- 13 防靜電與接地設(shè)計
- 14 噪聲控制
- 15 微振控制
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1、總，則本規(guī)范是電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計的國家標準、適用于各種類型電子產(chǎn)品生產(chǎn)用新建，擴建和改建的潔凈廠房設(shè)計，由于各類電子工業(yè)潔凈廠房內(nèi)所生產(chǎn)的電子產(chǎn)品及其生產(chǎn)工藝各不相同.它們對生產(chǎn)環(huán)境包括空氣環(huán)境和直接與產(chǎn)品生產(chǎn)過程接觸的各類介質(zhì)都有一定的要求 近年來以微電子產(chǎn)品為代表的高新技術(shù)發(fā)展迅速，微電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程對生產(chǎn)環(huán)境要求十分嚴格 對生產(chǎn)過程所需高純物質(zhì)、高純氣體.高純水,各類化學(xué)品的純度及其雜質(zhì)含量要求更為嚴格,對微振控制，噪聲控制和防靜電控制也有嚴格的要求 因此本規(guī)范根據(jù)電子工業(yè)潔凈廠房的特點制定工程設(shè)計中應(yīng)該遵循的相關(guān)規(guī)定.確保工程設(shè)計做到技術(shù)先進。經(jīng)濟適用 安全可靠，節(jié)約資源、滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的需求，