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6,2，防火和疏散6,2、1。電子工業(yè)潔凈廠房具有如下主要特點.在電子產(chǎn)品如電子材料。半導(dǎo)體器件。集成電路.液晶顯示器件等的生產(chǎn)過程中需使用易燃易爆的氣體.化學(xué)品等，它們對潔凈廠房構(gòu)成潛在的火災(zāi)威脅，一些電子工業(yè)潔凈廠房的面積大。體積大 并且常常是平面布置?？臻g布置曲折。增加了疏散路線上的障礙.可能延長安全疏散的時間、潔凈廠房內(nèi)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需應(yīng)用各種類型的精密.貴重的設(shè)備,儀器，建設(shè)投資巨大、一旦失火 將會造成極大的損失.鑒于以上主要特點。為了保障財產(chǎn)。人身的安全.嚴格控制電子工業(yè)潔凈廠房建筑耐火等級是十分重要的、因此作了本條規(guī)定。并為強制性條文,6,2,2.本條規(guī)定，電子工業(yè)潔凈廠房內(nèi)生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險性，應(yīng)按照現(xiàn)行國家標準 建筑設(shè)計防火規(guī)范。GB.50016分類。并在附錄B中列出電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險性分類的舉例、現(xiàn)對附錄B中與現(xiàn)行國家標準,潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 GB.50073相關(guān)舉例不同或增加的內(nèi)容說明如下1,電子工業(yè)潔凈廠房中,有使用丁酮.丙酮.異丙醇等易燃化學(xué)品的潔凈室 這些化學(xué)品的主要性質(zhì)見表25,從表中數(shù)據(jù)可見丙酮 異丙醇等均為易燃化學(xué)品 應(yīng)屬甲類，因此將電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)有這些化學(xué)品的儲存間。分配間列為甲類、2,電子工業(yè)潔凈廠房中，尤其在半導(dǎo)體類潔凈廠房中常常使用H2.SiH4，AsH3，PH3等可燃,有毒氣體 從表22中所列這些氣體的主要性質(zhì)可見.它們均為可燃氣體,有毒氣體，因此將電子工業(yè)潔凈廠房中設(shè)有可燃，有毒氣體的儲存，分配間列為甲類 3 半導(dǎo)體器件.集成電路工廠的外延間。由于其生產(chǎn)過程中需使用H2 S1H4等可燃氣體 因此在現(xiàn)行國家標準.潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 GB 50073附錄A中外延間列為甲類，但是近年來,隨著科學(xué)技術(shù)進步、半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)所采用的外延設(shè)備的設(shè)計.制造技術(shù)有了很大的提高、各種氣體供應(yīng).控制系統(tǒng)、設(shè)備和附件設(shè)計、制造技術(shù)有了很大的提高，氣體報警設(shè)施的安全可靠性也有了長足進步和提高,據(jù)調(diào)查表明半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)所采用的外延設(shè)備已配置有氫氣泄漏和排放超濃度報警、連鎖控制裝置以及滅火裝置等、半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)用外延間的氫氣供應(yīng)管路設(shè)有緊急切斷閥 一旦發(fā)生事故?；鹎闀r,自動切斷氫氣供應(yīng)，外延間按建筑特點在可能積聚氫氣處設(shè)置氫氣報警裝置和事故排風連鎖控制裝置等安全技術(shù)措施 所以本次規(guī)范制定時?？紤]到在具備上述安全技術(shù)措施的條件下,宜將半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)等所使用的外延間列為丙類、6.2 3,從20世紀90年代末以來、我國建設(shè)了一批大規(guī)模集成電路芯片生產(chǎn)用潔凈廠房.TFT、LCD生產(chǎn)用潔凈廠房、它們的潔凈室面積和防火分區(qū)面積均大大超過現(xiàn)行國家標準。潔凈廠房設(shè)計規(guī)范、GB 50073,建筑設(shè)計防火規(guī)范 GB，50016規(guī)定的面積、這些芯片制造.TFT。LCD制造為代表的高科技潔凈廠房具有大面積、大體量的特點 如表18所列的國內(nèi)8、12，芯片生產(chǎn)潔凈廠房潔凈區(qū)面積從6500m2,16000m2 第五、六代TFT，LCD生產(chǎn)用潔凈區(qū)已達36000m2、第八代TFT.LCD已達90000m2,這類潔凈廠房通常由潔凈生產(chǎn)區(qū)和潔凈生產(chǎn)區(qū)各自設(shè)有的上下技術(shù)夾層構(gòu)成.廠房高度約為20.30m、由于芯片制造,TFT、LCD制造的生產(chǎn)工藝設(shè)備體量大，制造過程的連續(xù)性和自動化傳輸,所以生產(chǎn)工藝區(qū)是不能分隔的，為加強消防技術(shù)措施.在美國消防標準NFPA 318,潔凈室消防標準 中要求采用高靈敏 0 01，obs m，早期空氣取樣式煙霧探測系統(tǒng),在環(huán)境空氣中煙霧濃度很低的火情出現(xiàn)初期、探測系統(tǒng)即發(fā)出警報，相應(yīng)消防應(yīng)急系統(tǒng)即可啟動將火情消滅在初始階段,據(jù)了解.國內(nèi)外的此類高科技潔凈廠房都這樣設(shè)計建造、投產(chǎn)最早的已有十年以上.鑒于上述情況 本條條文規(guī)定，丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈室、區(qū)、在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備設(shè)有火災(zāi)報警和滅火裝置以及回風氣流中設(shè)有靈敏度小于等于0、01。obs、m的高靈敏度早期煙霧報警探測系統(tǒng)后 其每個防火分區(qū)的最大允許建筑面積可按生產(chǎn)工藝要求確定,這里對這類電子工業(yè)潔凈廠房的防火分區(qū)最大容許建筑面積所做規(guī)定的理由是.電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確實不可分時,即由于電子產(chǎn)品工藝的連續(xù)性或生產(chǎn)過程的自動化傳輸設(shè)備的需要、潔凈室確實不能按防火分區(qū)要求進行分隔的電子工廠潔凈廠房 在潔凈廠房內(nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)混入新風前的回風氣流中應(yīng)設(shè)置高靈敏度早期報警火災(zāi)探測器及其報警系統(tǒng)、Very。Early.Smoke。Detection。Apparayus,簡稱VESDA?；蚍Q空氣采樣式煙霧探測系統(tǒng)、Air Sampling、Type.Smoke.Detection System。這類探測系統(tǒng)是主動抽取環(huán)境中空氣，只要空氣中有煙霧 就能及時報警,并在火災(zāi)形成前數(shù)小時 實現(xiàn)早期報警 本條規(guī)定的靈敏度是傳統(tǒng)探測器的數(shù)百倍、做到早期發(fā)現(xiàn),將火源消滅在初始狀態(tài),在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備。主要是使用易引發(fā)火情的設(shè)備應(yīng)設(shè)有火災(zāi)報警和滅火裝置、據(jù)調(diào)研表明，在集成電路芯片工廠、TFT，LCD制造工廠等使用易燃。易爆化學(xué)品,氣體的生產(chǎn)設(shè)備都設(shè)有火災(zāi)報警和滅火裝置 為本條規(guī)定的實施創(chuàng)造了有利條件，6、2.4,據(jù)調(diào)查資料表明.表18所列的一些電子工業(yè)潔凈廠房都是垂直單向流潔凈室、此類潔凈室的潔凈生產(chǎn)區(qū)與下技術(shù)夾層是以多孔活動地板和多孔混凝土板。華夫板。分隔 下技術(shù)夾層是回風靜壓箱.并可能安裝生產(chǎn)輔助設(shè)施，各類管線等 多孔活動地板上開孔多少視回風量確定,其開孔率一般在30、50,而華夫板上的開孔率大于上述開孔率,每個孔洞的直徑一般是400mm左右 下技術(shù)夾層不設(shè)崗位操作人員 其高度為2，5,5 5m、上技術(shù)夾層是送風靜壓箱。它以基本布滿高效空氣過濾器或FFU和燈具的吊頂格柵與潔凈生產(chǎn)區(qū)相連,上技術(shù)夾層沒有崗位操作人員、其高度一般為2、5,5、5m 由于上述構(gòu)造特點和使用特性.所以美國NFPA.318,潔凈室消防標準、中明確,潔凈室包括活動地板下的空間和吊頂格柵以上作為空氣通道的空間，活動地板下方提供安裝機械、電訊或類似系統(tǒng) 或作為送風或回風靜壓箱作用的空間 潔凈室的上下技術(shù)夾層的建筑面積可不計入防火分區(qū)的建筑面積.上下技術(shù)夾層和潔凈生產(chǎn)層、按其構(gòu)造特點和用途、可作為同一防火分區(qū) 對于非單向流的技術(shù)夾層,一般均設(shè)在吊頂上部，其高度均小于2。0m。其潔凈生產(chǎn)層與吊頂上部的技術(shù)夾層均按同一防火分區(qū)進行設(shè)計,建造，所以本條作了相關(guān)的規(guī)定.6，2 5.電子工業(yè)潔凈廠房潔凈室的頂棚和墻板 技術(shù)豎井井壁的材質(zhì),應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準 潔凈廠房設(shè)計規(guī)范、GB.50073.2001中第5。2 4條.第5，2，6條的相關(guān)規(guī)定，6 2，6,本條依據(jù)現(xiàn)行國家標準 潔凈廠房設(shè)計規(guī)范，GB。50073,2001中第5 2。5條的規(guī)定、6。2,7.本條為潔凈廠房的安全出口設(shè)置的有關(guān)規(guī)定、第1款中規(guī)定依據(jù)現(xiàn)行國家標準、潔凈廠房設(shè)計規(guī)范，GB.50073.2001中第5。2，7條的規(guī)定.第2款安全疏散距離依據(jù)現(xiàn)行國家標準,建筑設(shè)計防火規(guī)范。GB、50016。2006的第3、7。4條中有關(guān)廠房內(nèi)任一點到最近安全出口的距離不應(yīng)大于表第3，7.4的規(guī)定、第2款中,還根據(jù)潔凈廠房平面布置要求和潔凈室的特點。規(guī)定了.安全出口應(yīng)分散布置.并應(yīng)設(shè)有明顯的疏散標志，等 以利于人員的疏散。第3款的規(guī)定是由于近年設(shè)計建造的微電子工廠潔凈廠房的大體量。大面積的實際情況,如表18中所列的5代。6代TFT。LCD液晶顯示器生產(chǎn)用潔凈廠房的潔凈生產(chǎn)區(qū)面積已達33000m2以上 建筑高度達26。5m。其廠房內(nèi)任一點到最近安全出口的距離達80、120m 這類潔凈廠房內(nèi)使用可燃,易燃氣體的關(guān)鍵設(shè)備均設(shè)有火災(zāi)報警、氣體報警和C02滅火裝置 這類廠房如前所述均設(shè)有高靈敏度早期煙霧探測系統(tǒng)、且此類廠房由于生產(chǎn)工藝設(shè)備體積大，連續(xù)性生產(chǎn) 自動化傳輸?shù)纫蛩?。致使要實現(xiàn)廠房內(nèi)任一點到安全出口的距離符合現(xiàn)行國家標準 建筑設(shè)計防火規(guī)范、GB、50016的規(guī)定十分困難。此類廠房中操作人員較少，人員密度極低、且人員流動巡查、因此本款規(guī)定 丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房、在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備自帶火災(zāi)報警和滅火裝置以及回風氣流中設(shè)有靈敏度嚴于0，01.obs.m的高靈敏度早期火災(zāi)報警探測系統(tǒng)后,安全疏散距離可按工藝需要確定，但不得大于本條第2款規(guī)定的安全疏散距離的1,5倍。在本款的 注。中對8代TFT，LCD生產(chǎn)用潔凈生產(chǎn)區(qū)的疏散距離.推薦在人員密度小于0 02人,m2時、可按工藝需要確定 但不得超過120m,6,2。8.由于電子工業(yè)潔凈廠房空間密閉.且設(shè)有人員凈化.物料凈化設(shè)施 一旦出現(xiàn)火情，消防人員進入潔凈室的路徑較困難,為此本條規(guī)定潔凈室,區(qū).各層外墻應(yīng)設(shè)供消防人員通往潔凈室 區(qū).的入口.鑒于潔凈廠房外墻上樓層的吊門、電控自動門.一般都不能從外面開啟，因此不能作為消防人員進入廠房的入口。裝有柵欄的窗.由于柵欄的阻隔.影響消防人員迅速進入廠房、也不能作為消防人員的入口.6、2，9,制定本條的依據(jù)是，1 在電子工業(yè)潔凈廠房內(nèi)不可避免地會設(shè)有現(xiàn)行國家標準.建筑設(shè)計防火規(guī)范,GB，50016。2006相關(guān)規(guī)定所容許的一定規(guī)模的有爆炸危險的甲乙類生產(chǎn)部位、區(qū)域,房間等 如高純氣體純化間。有可燃氣體的氣體入口室，特種氣體儲存分配間，可燃化學(xué)品儲存,分配間等，2,在現(xiàn)行國家標準.建筑設(shè)計防火規(guī)范。GB.50016 2006中明確規(guī)定 對有爆炸危險的甲乙類生產(chǎn)部位,宜設(shè)置在單層廠房外墻的泄壓設(shè)施或多層廠房頂層靠外墻的泄壓設(shè)施附近.