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4.2。潔凈室型式4，2 1、隨著科學(xué)技術(shù)發(fā)展.近年來(lái).電子產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈室有多種形式 下面根據(jù)在電子工廠中已實(shí)際應(yīng)用的各種類型的潔凈室形式進(jìn)行簡(jiǎn)要描述,1.根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求。空氣潔凈度等級(jí)和平面或空間布置要求 微電子廠房潔凈室布置形式一般有隧道式或港灣式，開(kāi)放式 島形布置等，見(jiàn)圖1、據(jù)調(diào)查表明,集成電路芯片制造用潔凈室一般采用隧道式和開(kāi)放式.其中隧道式潔凈室主要用于5。6。芯片制造廠 生產(chǎn)工藝設(shè)備跨潔凈生產(chǎn)區(qū)和設(shè)備維護(hù)區(qū).潔凈生產(chǎn)區(qū)對(duì)潔凈度要求嚴(yán)格。而維護(hù)區(qū)的空氣潔凈度等級(jí)較低 目前8、12,芯片制造工廠普遍采用開(kāi)放式潔凈室加微環(huán)境.minienvironment，的方式.將芯片制造過(guò)程對(duì)空氣潔凈度要求十分嚴(yán)格的硅片加工過(guò)程 1、4級(jí).布置在微環(huán)境裝置內(nèi)。而開(kāi)放式潔凈室的潔凈度等級(jí)只需5。6級(jí)。這種潔凈室形式既可做到工藝布置的靈活性、又可做到減少建設(shè)投資和降低能量消耗。降低運(yùn)行費(fèi)用等、2，按氣流流型劃分潔凈室時(shí)、可劃分為單向流潔凈室,非單向流潔凈室和混合流潔凈室。1 單層潔凈室，在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部，下部設(shè)有上下技術(shù)夾層.上技術(shù)夾層內(nèi)設(shè)置空氣過(guò)濾裝置、風(fēng)管和公用動(dòng)力管線。下技術(shù)夾層為回風(fēng)道,這種形式適用于規(guī)模較小的潔凈室,2,多層潔凈室。在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)吊頂格柵以上設(shè)有送風(fēng)靜壓箱或循環(huán)空氣處理設(shè)備或空氣過(guò)濾單元機(jī)組等的上技術(shù)層。在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的活動(dòng)地板以下設(shè)有回風(fēng)靜壓箱或輔助生產(chǎn)設(shè)備或公用動(dòng)力設(shè)備。管線等的下技術(shù)層 有的電子工業(yè)潔凈廠房的下技術(shù)層根據(jù)需要可為一層或二層,非單向流潔凈室是采用非單向流氣流流型的潔凈室,主要用于空氣潔凈度等級(jí)為6.9級(jí)的潔凈室。此類潔凈室當(dāng)單側(cè)回風(fēng)時(shí)其寬度一般不大于6m.混合流潔凈室是在同一潔凈室內(nèi) 同時(shí)存在單向流和非單向流兩種氣流流型的潔凈室,區(qū)。4。2 2.制定本條的主要依據(jù)是、1。近年來(lái)、在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)、前工序.用潔凈廠房。TFT,LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造.設(shè)計(jì)中,基本上采用多層的布置方式、在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱、潔凈空氣通過(guò)FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng)、實(shí)際上.潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的,而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動(dòng)地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板。在活動(dòng)地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層。在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動(dòng)力設(shè)備，輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動(dòng)力管線等.潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過(guò)活動(dòng)地板、多孔板回至下技術(shù)夾層，實(shí)際上。下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的,所以可以認(rèn)為。電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層。潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層、2.在美國(guó)國(guó)家消防協(xié)會(huì).NFPA、的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范NFPA、318 潔凈廠房消防標(biāo)準(zhǔn) Standard.for.the、procection of.cleanroom.2000年版。的第1.5 5條中規(guī)定。潔凈室的范圍包括活動(dòng)地板下的下技術(shù)夾層和吊頂上面的上技術(shù)夾層、同時(shí)在NFPA,318的總則中明確。該標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體工廠的潔凈室。4。2,3,電子工廠潔凈廠房是能源消耗量大，建設(shè)投資大的廠房、為了使?jié)崈魪S房的建設(shè)獲得較好的節(jié)能和經(jīng)濟(jì)效益.從潔凈室型式的選擇開(kāi)始就應(yīng)該認(rèn)真地分析比較、選擇既滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求.又能做到降低能耗，減少建設(shè)投資和降低運(yùn)行費(fèi)用等需求，目前在超大規(guī)模集成電路工廠采用微環(huán)境類型的潔凈室.是一種能滿足以上要求的混合流潔凈室 圖2是Ballroom，微環(huán)境潔凈室與港灣式潔凈室的對(duì)比圖示,圖中 a、將要求大面積的單向流平均風(fēng)速為0。45m、s變化為只有微環(huán)境范圍內(nèi)小面積,而大部分空間均采用5、6級(jí),平均風(fēng)速約為0,1m、s。兩種方式的主要技術(shù)經(jīng)濟(jì)數(shù)據(jù)的比較見(jiàn)表17、從表中數(shù)據(jù)可見(jiàn)、Ballroom。微環(huán)境潔凈室能量消耗少,也可做到總體建設(shè)投資少 所以當(dāng)空氣潔凈度等級(jí)要求十分嚴(yán)格時(shí),宜采用此種類型.