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10,4、特種氣體系統(tǒng)10。4，1，由于電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝所使用的特種氣體是品種多,單一品種數(shù)量少、所以均為外購供應(yīng)、一般采用鋼瓶包裝.運(yùn)輸 儲(chǔ)存或少量采用槽車運(yùn)輸，在鋼瓶.儲(chǔ)罐、內(nèi)的狀態(tài)有氣體及液體、根據(jù)生產(chǎn)工藝所使用的特種氣體物化性質(zhì)、耗量 品質(zhì)要求。在電子工廠內(nèi)應(yīng)合理設(shè)置儲(chǔ)存、分配系統(tǒng).10.4，2，本條規(guī)定的特種氣體儲(chǔ)存分配間是指電子工業(yè)潔凈廠房中設(shè)置特氣柜的專用房間、該特氣柜間屬于潔凈廠房中的生產(chǎn)輔助房間、通常設(shè)在靠外墻的邊跨中。有時(shí)為了平面布局的需要也可設(shè)在其他場所、該特氣間生產(chǎn)危險(xiǎn)性類別的劃分應(yīng)根據(jù)放置的特氣種類確定,而電子工業(yè)潔凈廠房中的特氣間常常設(shè)有可燃性。毒性.氧化性特種氣體,所以應(yīng)按甲.乙類生產(chǎn)類別進(jìn)行設(shè)計(jì).參照現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)，建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范 GB 50016.2006中的相關(guān)規(guī)定.在甲.乙,丙類廠房內(nèi)，布置有不同類別火災(zāi)危險(xiǎn)性的房間的隔墻應(yīng)采用耐火極限不低于2.0h的不燃燒體.隔墻上的門窗應(yīng)為甲級(jí)防火門窗 并根據(jù)多年的工程實(shí)踐,制定本條規(guī)定，并為強(qiáng)制性條文 10 4、3、可燃或有毒的特種氣體具有對(duì)安全生產(chǎn).人員健康極大的危害。因此本條的第1,3款對(duì)其分配系統(tǒng)的設(shè)置作了強(qiáng)制性規(guī)定 1，特種氣體鋼瓶及其分配系統(tǒng)應(yīng)設(shè)在具有連續(xù)機(jī)械排風(fēng)的特氣柜中。該特氣柜應(yīng)配有氣體泄漏檢測報(bào)警系統(tǒng)、手動(dòng)或自動(dòng)切換系統(tǒng) 自動(dòng)切斷輸送氣體及自動(dòng)吹掃的設(shè)施，氣體泄漏檢測報(bào)警系統(tǒng)應(yīng)與事故機(jī)械排風(fēng)機(jī)聯(lián)鎖,該特氣柜設(shè)排風(fēng)裝置.并應(yīng)排入相應(yīng)的生產(chǎn)廢氣處理系統(tǒng),經(jīng)集中處理達(dá)標(biāo)后，方能排放至大氣。對(duì)儲(chǔ)存高危害性特種氣體的鋼瓶柜應(yīng)配置就地廢氣處理裝置.經(jīng)集中處理達(dá)標(biāo)后。才能排入上述相應(yīng)的生產(chǎn)廢氣處理系統(tǒng) 2,為確保連續(xù)不中斷運(yùn)行、分配系統(tǒng)所設(shè)置的自控系統(tǒng) 報(bào)警系統(tǒng)及與之所聯(lián)鎖的事故排風(fēng)機(jī)的電源,均應(yīng)設(shè)應(yīng)急電源。3.特種氣體系統(tǒng)的閥門.附件及連接件都應(yīng)設(shè)在多路閥門箱,盤 VMB或VMP 內(nèi).該閥門箱、盤均設(shè)機(jī)械排風(fēng)裝置。氣體泄漏檢測及聲光報(bào)警系統(tǒng)。并能在事故發(fā)生時(shí)及時(shí)切斷氣體供應(yīng)和啟動(dòng)所聯(lián)鎖的事故排風(fēng)機(jī) 排入相應(yīng)的生產(chǎn)廢氣處理系統(tǒng)。10.4 4、特種氣體分配系統(tǒng)中.具有危害性的特種氣體鋼瓶氣源應(yīng)配備吹掃盤.為此本條作了相應(yīng)規(guī)定,1.現(xiàn)將美國消防協(xié)會(huì)發(fā)布的NFPA。318.潔凈室消防標(biāo)準(zhǔn),第6，3節(jié)有關(guān)特種氣體吹掃盤的相關(guān)規(guī)定摘要如下.1。所有危險(xiǎn)的壓縮工藝氣體鋼瓶在使用時(shí)。應(yīng)設(shè)置吹掃盤。2，選用的吹掃盤所使用的管道、配件的材料與所輸送的氣體應(yīng)具有相容性，3 應(yīng)設(shè)置過流量控制,并設(shè)緊急切斷閥 4.只有用于相容氣體的吹掃盤。才容許共用吹掃氣瓶.5，設(shè)手動(dòng)切斷閥 以便將吹掃盤整體取下進(jìn)行修理，2，吹掃盤的吹掃氣源一般采用以下兩種方式,1。采用常用氣體輸配系統(tǒng)作為吹掃氣源,系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防回流措施、以防止吹掃氣體與其他工藝特氣的交叉污染、2 采用專用吹掃氣體鋼瓶或鋼瓶組作為吹掃氣源、對(duì)物化性質(zhì)不相容的兩個(gè)或兩個(gè)以上特氣鋼瓶氣源所配置的吹掃盤。不允許合用一氣體鋼瓶或鋼瓶組吹掃氣源、10、4。5,本條規(guī)定硅烷或硅烷混合物氣瓶應(yīng)存放在電子工業(yè)潔凈廠房建筑外的儲(chǔ)存區(qū)內(nèi),并規(guī)定了這類儲(chǔ)存區(qū)設(shè)置的相關(guān)規(guī)定、這些規(guī)定，主要是參考了美國消防協(xié)會(huì)發(fā)布的NFPA,318,潔凈室消防標(biāo)準(zhǔn),第6、4節(jié)的有關(guān)規(guī)定、1.儲(chǔ)存區(qū)必須是三面敞開的。氣瓶用鋼制框架保護(hù),2、氣瓶與周圍構(gòu)筑物及圍欄最小間距應(yīng)大于等于95英尺，約2、7m。3,當(dāng)儲(chǔ)存區(qū)設(shè)有雨篷時(shí)、其凈高應(yīng)為12英尺。約3。7m、