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2.術(shù)，語2、0、1.潔凈室 clean room空氣懸浮粒子濃度受控的房間、它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入，產(chǎn)生及滯留粒子.室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度。壓力等按要求進(jìn)行控制、2，0，2、潔凈區(qū)、clean,zone空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間，它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入。產(chǎn)生及滯留粒子.空間內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度，濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制?？梢允情_放式或封閉式 2,0 3,人員凈化用室.room、for。cleaning，human.body人員在進(jìn)入潔凈室。區(qū),之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間，2.0.4。物料凈化用室。room for,cleaning，material物料在進(jìn)入潔凈室,區(qū),之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間 2，0、5、粒徑，partical.size由給定的粒子尺寸測(cè)定儀響應(yīng)當(dāng)量于被測(cè)粒子等效的球體直徑。對(duì)離散粒子計(jì)數(shù)。光散射儀器采用當(dāng)量光學(xué)直徑、2。0,6、懸浮粒子.airborne、particles用于空氣潔凈度分級(jí)的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1 5μm的固體和液體粒子、2,0.7，含塵濃度，particle、concentration單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù)，2，0,8。潔凈度。cleanliness以單位體積空氣某粒徑粒子的數(shù)量來區(qū)分的潔凈程度 2,0，9.空態(tài),as、built設(shè)施已經(jīng)建成。所有動(dòng)力接通并運(yùn)行,但無生產(chǎn)設(shè)備.材料及人員。2，0。10,靜態(tài),at,rest設(shè)施已經(jīng)建成、生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝,并按業(yè)主及供應(yīng)商同意的狀態(tài)運(yùn)行 但無生產(chǎn)人員.2,0、11、動(dòng)態(tài)。operational設(shè)施以規(guī)定的狀態(tài)運(yùn)行,有規(guī)定的人員在場(chǎng) 并在商定的狀況下進(jìn)行工作、2.0.12。氣流流型,air。pattern室內(nèi)空氣的流動(dòng)形態(tài)和分布、2。0，13，單向流。unidirectional，airflow沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風(fēng)速一致的氣流.包括垂直單向流和水平單向流,2,0。14、非單向流 non、unidirectional，airflow凡不符合單向流定義的氣流 2，0，15，混合流 mixed。airflow單向流和非單向流組合的氣流.2，0。16，潔凈工作區(qū),clean、working，area指潔凈室內(nèi)離地面高度0、8。1,5m、除工藝特殊要求外 的區(qū)域.2 0.17,空氣吹淋室、airshower利用高速潔凈氣流吹落并清除進(jìn)入潔凈室人員或物料表面附著粒子的小室.2 0，18.氣閘室、airlock設(shè)置在潔凈室出入口.阻隔室外或相鄰房間的污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間 2,0、19.傳遞窗、passbox在潔凈室隔墻上設(shè)置的傳遞物料和工器具的開口 兩側(cè)窗扇的開啟應(yīng)進(jìn)行聯(lián)鎖控制。2。0,20。潔凈工作服、clean、working，garment為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最低程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝,2,0。21，高效空氣過濾器 HEPA high efficiency particulate，air filter在額定風(fēng)量下，最易穿透粒徑法的效率在99、95、以上及氣流初阻力在220Pa以下的空氣過濾器 2、0、22.超高效空氣過濾器.ULPA、ultra、low、penetration，air，filter在額定風(fēng)量下。最易穿透粒徑法的效率在99。9995.以上及氣流初阻力在250Pa以下的空氣過濾器、2 0 23.微環(huán)境、minienvironment將產(chǎn)品生產(chǎn)過程與操作人員、污染物進(jìn)行嚴(yán)格分隔的隔離空間。2。0 24、風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組，fan.filter，unit.FFU 由HEPA或ULPA與風(fēng)機(jī)組合在一起、構(gòu)成自身可提供動(dòng)力的末端空氣凈化的裝置，2。0，25 自凈時(shí)間 cleanliness,recovery.characteristic潔凈室被污染后，凈化空調(diào)系統(tǒng)開始運(yùn)行至恢復(fù)到穩(wěn)定的規(guī)定室內(nèi)潔凈度等級(jí)的時(shí)間.2、0 26 技術(shù)夾層.technical、mezzanine潔凈廠房中以水平構(gòu)件分隔構(gòu)成的空間.用于安裝輔助設(shè)備和公用動(dòng)力設(shè)施以及管線等,2,0，27。技術(shù)夾道,technical tunnel潔凈廠房中以垂直構(gòu)件分隔構(gòu)成的廊道 用于安裝輔助設(shè)備和公用動(dòng)力設(shè)施以及管線等。2.0，28.技術(shù)豎井 technical,shaft潔凈廠房中主要以垂直構(gòu)件分隔構(gòu)成的井式管廊，用于安裝輔助設(shè)備和公用動(dòng)力設(shè)施以及管線等,2,0,29 專用消防口 fire firing。access消防人員為滅火而進(jìn)入建筑物的專用入口 平時(shí)封閉。使用時(shí)由消防人員從室外打開、2.0，30.純水,pure water雜質(zhì)含量很少的水 其電解質(zhì)雜質(zhì)含量。常以電阻率表征.和非電解質(zhì)雜質(zhì)。如微粒,有機(jī)物。細(xì)菌和溶解氣體等，含量均要求很少的水,2，0 31、常用氣體.bulk,gas電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中、廣泛使用的氫氣，氧氣。氮?dú)?氬氣，氦氣等氣體,2.0.32 特種氣體,special、gas電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中、使用的硅烷，磷烷。乙硼烷、砷烷、四氯化硅.氯氣等氣體.這些氣體具有可燃，有毒 腐蝕或窒息等特性。2、0。33,化學(xué)品.chemical指電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中使用的酸,堿,有機(jī)溶劑和氧化物等、2,0.34,防靜電環(huán)境,ESD，controlled,environment具有防止靜電危害的特定環(huán)境,在此環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電或靜電產(chǎn)生后易于泄放或消除 靜電噪聲難以傳播，2，0 35.表面電阻.surface，resistance在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過兩極間的穩(wěn)態(tài)電流之商,