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3 2.生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計(jì)要求3 2,1 在現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范 GB、50073 2001中等同采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn).潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第一篇。ISO。14644,1中有關(guān)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境空氣中懸浮粒子潔凈度級(jí)別劃分,3、2。2.3、2.3,電子產(chǎn)品的種類繁多.隨著微型化、精密化、高純度,高質(zhì)量和高可靠的電子產(chǎn)品品種的增加 需要在空氣懸浮粒子受控環(huán)境中進(jìn)行全過程生產(chǎn)或部分生產(chǎn)的電子產(chǎn)品主要有.各種半導(dǎo)體材料及其器件生產(chǎn).集成電路生產(chǎn)?;衔锇雽?dǎo)體生產(chǎn) 光電子生產(chǎn).薄膜晶體管液晶顯示器,Thin,Film,Transistor,Liguid,Crystal、Display,簡(jiǎn)稱TFT,LCD、生產(chǎn),微硬盤驅(qū)動(dòng)器 Hard。Disk.Driver,簡(jiǎn)稱HDD。生產(chǎn)、等離子顯示器、Plasma,Display,Panel.簡(jiǎn)稱PDP,生產(chǎn)、磁頭和磁帶生產(chǎn),光導(dǎo)纖維生產(chǎn)。印制電路板等。各類產(chǎn)品的品種不同。生產(chǎn)工藝不同、所要求的空氣潔凈度等級(jí)也不相同,因此第3.2,2條規(guī)定各種電子產(chǎn)品用潔凈廠房設(shè)計(jì)時(shí).生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定、當(dāng)在設(shè)計(jì)時(shí) 業(yè)主或發(fā)包方未提出要求或暫時(shí)未提出要求時(shí)??蓞⒄毡疽?guī)范附錄A的要求確定,在附錄A所列要求中。由于各種產(chǎn)品生產(chǎn)工藝都各不相同,所以對(duì)于空氣潔凈度等級(jí) 控制粒徑均列出一定的范圍供參考、為說明這些差異 下面列舉一些工程的實(shí)例供參考 1.表4 表6分別列出8。和4。5,硅單晶及硅片加工,集成電路的芯片制造。TFT。LCD生產(chǎn)所需的空氣潔凈度等級(jí),溫度、濕度的實(shí)例。2,微硬盤驅(qū)動(dòng)器,HDD。生產(chǎn)用潔凈廠房濺射生產(chǎn)區(qū)4級(jí),組裝 測(cè)試等6級(jí) 3。高密度磁盤生產(chǎn)用潔凈廠房,4,表7,表8分別列出彩色顯像管生產(chǎn),光導(dǎo)纖維生產(chǎn)所需的空氣潔凈度等級(jí),溫度、濕度的實(shí)例,5,磁頭生產(chǎn)用潔凈廠房,磁頭裝配,濺射燒結(jié)等要求4級(jí),0.1μm 研磨.檢測(cè)等要求5級(jí)。0.1μm、切割等要求6級(jí)、6 印制電路板生產(chǎn)用潔凈廠房,6、5級(jí)。24,2。65.5.7。鋰電池生產(chǎn)的干作業(yè)潔凈生產(chǎn)區(qū)、6級(jí),23,露點(diǎn) DP。30。組裝.測(cè)試潔凈室.區(qū) 7級(jí) 23,2,20,8,等離子顯示器,PDP、生產(chǎn)用潔凈廠房。涂屏間等,5,5級(jí) 25.2、50、10,其他生產(chǎn)間、6,5 8級(jí),20 26.55 10 3 2.4?,F(xiàn)代電子產(chǎn)品生產(chǎn)的重要特點(diǎn)之一 在許多電子產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中需使用高純水。高純氣體和高純化學(xué)品,且各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)時(shí)、因品種不同,產(chǎn)品生產(chǎn)工藝也不同。對(duì)高純物質(zhì)的純度,雜質(zhì)含量的要求不同,它們之間差異很大、表9是中國(guó)電子級(jí)水的技術(shù)指標(biāo)、表10是美國(guó)ASTMD5127電子及半導(dǎo)體工業(yè)用純水的水質(zhì)要求。表11是TFT,LCD生產(chǎn)用純水水質(zhì)要求 表12是一個(gè)8、集成電路芯片制造用高純水水質(zhì)要求.3。2,5,近年來.對(duì)一些電子工廠的潔凈室、區(qū),內(nèi)的噪聲級(jí).空態(tài)、的檢測(cè)資料表明。大部分單向流潔凈室,區(qū),內(nèi)的噪聲均可小于65dB,A、也有少數(shù)潔凈室。區(qū),由于各種原因,實(shí)際檢測(cè)的噪聲超過65dB.A、非單向流潔凈室、區(qū),內(nèi)的噪聲大部分可小于60dB,A。表16是部分電子工廠潔凈室。區(qū),內(nèi)噪聲的檢測(cè)數(shù)據(jù).
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