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7、3、凈化空調(diào)系統(tǒng)7，3 1，電子工業(yè)潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)的主要形式為集中式和分散式，圖5是幾種分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)的典型圖示，從圖中可見。各種形式各具特點(diǎn)和適用性.在實(shí)際應(yīng)用中.應(yīng)根據(jù)具體工程項(xiàng)目的潔凈室規(guī)模、空氣潔凈度等級(jí)和電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)及其要求確定、同時(shí)考慮運(yùn)行經(jīng)濟(jì)和降低能量消耗 7，3.2、電子工業(yè)潔凈廠房、尤其在規(guī)模較大的集成電路芯片生產(chǎn)和TFT。LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的送風(fēng)方式有集中送風(fēng)、隧道送風(fēng)和風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組送風(fēng)等類型,各種送風(fēng)方式各具特點(diǎn)和適用性,圖6是各種送風(fēng)方式的示意圖.圖6中,a。集中送風(fēng)系統(tǒng),CentralSystem。室外新風(fēng)經(jīng)新風(fēng)處理裝置，MAU，后.與經(jīng)表冷器降溫和風(fēng)機(jī)增壓后的回風(fēng)混合.通過高效過濾器送至潔凈生產(chǎn)層 b，隧道送風(fēng)系統(tǒng),Tunnel System、潔凈區(qū)的回風(fēng)經(jīng)維修區(qū)與新風(fēng)處理.MAU。后的新風(fēng)混合后，由循環(huán)空氣處理裝置送入送風(fēng)靜壓箱,通過空氣過濾器送入潔凈區(qū)、c,FFU系統(tǒng)。潔凈區(qū)回風(fēng)經(jīng)表冷器降溫后與處理后新風(fēng)混合.通過FFU增壓 過濾送入潔凈區(qū).三個(gè)系統(tǒng)各有利弊，其選擇主要與電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、能量消耗 建設(shè)投資等有關(guān).有時(shí)也與業(yè)主的意愿有關(guān)，但近年來在集成電路潔凈廠房中、采用FFU系統(tǒng)者日益增多、7、3.3，在一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中。需使用各種不同的可燃、有毒氣體或化學(xué)品,使用這些物質(zhì)的生產(chǎn)設(shè)備或儲(chǔ)存、分配設(shè)施都將設(shè)置必要的排風(fēng)裝置。為此,在這類電子產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新鮮空氣吸入口,必須遠(yuǎn)離上述排氣口.以確保潔凈室 區(qū)、的安全運(yùn)行和工作人員身體健康，美國(guó)消防協(xié)會(huì)發(fā)布的NFPA318、潔凈室消防標(biāo)準(zhǔn),的第3.1 1條規(guī)定.潔凈室的室外空氣吸入口的位置必須避免吸入本建筑或裝置產(chǎn)生的可燃?xì)怏w或有毒化學(xué)品，7,3,4,近年在電子工業(yè)潔凈廠房中 當(dāng)設(shè)有多套凈化空調(diào)系統(tǒng)或潔凈廠房規(guī)模較大時(shí) 常常采用新風(fēng)集中處理的方式,采用這種方式的特點(diǎn)或優(yōu)越性主要有.1、將送入潔凈室的空氣凈化與熱濕處理分離.有利于降低能源消耗，2、有利于消除冷熱抵消,3、有利于強(qiáng)化對(duì)室外新風(fēng)的處理。在微電子.光電子用潔凈室的送風(fēng)中.不僅要求控制微粒.溫度.相對(duì)濕度等 還要求去除影響產(chǎn)品質(zhì)量或降低成品率的分子態(tài)化學(xué)污染物,如Na.SOx NOx、Cl B等.這些污染物主要來自室外大氣中.為此。對(duì)于此類潔凈廠房需對(duì)室外吸入新鮮空氣進(jìn)行嚴(yán)格處理。常常可以采用淋水法去除大氣中的SOx、NOx和Cl.采用化學(xué)過濾器和活性炭過濾器。利用物理吸附和化學(xué)吸附的原理.將低濃度的分子態(tài)化學(xué)污染物去除到規(guī)定的濃度要求 圖7是某微電子工業(yè)潔凈廠房的新風(fēng)處理裝置示意圖，采用了11個(gè)功能段.兩級(jí)加熱、兩級(jí)表冷，兩級(jí)淋水，四級(jí)過濾和一級(jí)加濕。7.3.5,潔凈廠房?jī)艋照{(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì).若能在滿足工作人員必須的新鮮空氣量的前提下將潔凈室的回風(fēng)基本得到合理利用.是最佳的運(yùn)行方式，這樣可以大大降低新風(fēng)處理所需加熱.冷卻用能量和輸送用能量。是潔凈室設(shè)計(jì)中最佳節(jié)能措施，所以本條規(guī)定除了三種情況不得回風(fēng)外、其余均應(yīng)合理利用回風(fēng)。