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15.3，微振動控制設(shè)計15，3.1。電子工業(yè)潔凈廠房中微振控制設(shè)計,應(yīng)按圖10所示的程序進行 工程實踐表明、該程序是電子工廠 特別是微電子工廠潔凈廠房中微振控制設(shè)計的有效程序,圖中指出的四次測試就是本條制定的依據(jù),15 3,2 有微振控制要求的潔凈室。區(qū)、的建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計是微振控制設(shè)計的重要部分.實踐表明 大量的環(huán)境振動能量是通過建筑結(jié)構(gòu)傳遞到精密設(shè)備,儀器的基礎(chǔ)底部。所以建筑結(jié)構(gòu)的微振動控制設(shè)計的基本要求是 建筑物的基礎(chǔ)應(yīng)盡可能地置于堅硬土層上或置于動力特性良好的地基上,并且基礎(chǔ)應(yīng)具有足夠的剛度，設(shè)置獨立的建筑結(jié)構(gòu)微振動控制體系,并與廠房主體結(jié)構(gòu)脫開、減少廠房主體結(jié)構(gòu)振動的影響、廠房的主體結(jié)構(gòu)還應(yīng)根據(jù)微振動控制的需要,在可能情況下.適當增大結(jié)構(gòu)截面尺寸.增加整體建筑的剛度,建筑結(jié)構(gòu)微振動控制體系的內(nèi)容,隨不同電子產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝要求有所不同 如集成電路芯片生產(chǎn)用潔凈廠房的建筑結(jié)構(gòu)微振動控制體系包括,獨立于廠房主體結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ).一般采用深基礎(chǔ)或復合地基、以確?；A(chǔ)具有足夠剛度和較少沉降量、設(shè)置防微振平臺、該平臺與主體結(jié)構(gòu)脫開,并應(yīng)具有較大的質(zhì)量及較好的剛度 平臺下支撐柱一般采用較小的柱距。在防微振平臺下.一般設(shè)必要的防微振墻、以減弱水平向振動的傳遞。微振動控制體系底部一般設(shè)置厚重地面層等,根據(jù)上述要求和工程實踐制定本條規(guī)定 15.3.3 15、3 4。對潔凈廠房內(nèi)的各類振源進行積極隔振，以減少它們對潔凈室 區(qū)，內(nèi)的精密設(shè)備。儀器的振動影響，是潔凈廠房設(shè)計的重要內(nèi)容之一 潔凈廠房內(nèi)的振源形式大體有，沖擊型 沖床.各類介質(zhì)輸送管道等,往復型，各種壓縮機等。旋轉(zhuǎn)型、通風機,離心式壓縮機。泵、電動機等.對它們的隔振措施設(shè)計包括隔振元件的選用。隔振臺座的形式和構(gòu)造的設(shè)計.靜力計算及振動計算等,對精密設(shè)備.儀器采用隔振器隔振,以減弱支承結(jié)構(gòu)傳遞的振動影響 達到容許振動值的要求.這被稱為消極隔振,根據(jù)近年來微振控制設(shè)計 測試，建造的工程實踐,制定了本條規(guī)定,