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4、總體設(shè)計(jì)4,1.位置選擇和總平面布置4.1，1 電子產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈廠房與其他工業(yè)潔凈廠房的重要區(qū)別之一是一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)對(duì)化學(xué)污染物有嚴(yán)格的要求 如微電子產(chǎn)品中需嚴(yán)格控制生產(chǎn)環(huán)境中的重金屬.有機(jī)物的含量。在表2中列出集成度從64M發(fā)展到64G時(shí)、重金屬要求從5，1010，原子，cm,2，嚴(yán)格至小于2，5，109,原子、cm。2.有機(jī)物從1 1014 原子，cm、2。嚴(yán)格至3,1012。原子，cm.2，據(jù)了解.一些微電子潔凈廠房的產(chǎn)品生產(chǎn)中發(fā)現(xiàn)極微量的Na、等化學(xué)物質(zhì)對(duì)產(chǎn)品生產(chǎn)影響極大 應(yīng)予嚴(yán)格控制,近年來(lái)。國(guó)內(nèi)外研究表明,由于全球環(huán)境保護(hù)的嚴(yán)峻形勢(shì)和各類工業(yè)生產(chǎn)發(fā)展、人民生活水平提高都使大氣中污染物種類,濃度發(fā)生了變化,尤其是城市中的工業(yè)燃燒排放物和汽車燃燒排放物的增加。大氣中的微粒濃度，化學(xué)污染物也呈增加趨勢(shì)。大氣中化學(xué)污染物與所在地區(qū)的經(jīng)濟(jì)發(fā)展?fàn)顩r，固定燃燒源和移動(dòng)燃燒源,汽車等。的組成，類型和數(shù)量關(guān)系密切，據(jù)大氣檢測(cè)表明.大氣中的化學(xué)物質(zhì)主要有陽(yáng)離子Ca2 Na.Mg2、K。陰離子,Cl.F 等,還有一些濃度較低的Hg等,隨著國(guó)民經(jīng)濟(jì)的發(fā)展 人民生活質(zhì)量的提高,這些物質(zhì)總的趨勢(shì)是逐年增加、一些城市或一些具體場(chǎng)所還會(huì)由于工業(yè)生產(chǎn)或汽車數(shù)量的增加或氣象條件的變化、有時(shí)或某一時(shí)間段這些化學(xué)物質(zhì)的數(shù)量,濃度都會(huì)增加、所以在進(jìn)行電子工廠特別在一些產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程對(duì)化學(xué)污染物要求嚴(yán)格的潔凈廠房的選址應(yīng)予充分重視。為此、本條作出了三款的推薦性規(guī)定、4，1 2,本條規(guī)定電子工業(yè)潔凈廠房的新風(fēng)口與城市交通干道之間的距離，由于城市交通干道上運(yùn)輸車輛運(yùn)行中所產(chǎn)生的污染物主要通過(guò)新風(fēng)的吸入對(duì)潔凈廠房產(chǎn)生影響.根據(jù)現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) 潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范.GB,50073的相關(guān)規(guī)定,此距離宜大于50m.近年來(lái).我國(guó)各地區(qū)的城市交通于道兩側(cè)或城市交通于道與工廠之間都建設(shè)了綠化帶，這些綠化帶有以草坪為主或樹.草間種或以樹為主等多種形式 測(cè)試數(shù)據(jù)表明、各種形式的綠化帶都具有一定吸塵.降低空氣中微粒濃度的作用.所以本條規(guī)定 當(dāng)電子工業(yè)潔凈廠房與交通干道之間設(shè)有城市綠化帶時(shí)、可視具體條件適當(dāng)減少距離，4.1，3。對(duì)于有微振控制要求的電子工業(yè)潔凈廠房的位置選擇時(shí)。應(yīng)實(shí)際測(cè)定擬建工廠廠址或已有工廠內(nèi)擬選擇潔凈廠房的場(chǎng)地周圍 現(xiàn)有振源和預(yù)測(cè)可能的振源的振動(dòng)影響 此項(xiàng)測(cè)定正逐漸被相關(guān)科技人員和工程項(xiàng)目承建者關(guān)注和重視,但是由于微振控制要求和各類振源對(duì)微振控制的影響評(píng)價(jià)的技術(shù)復(fù)雜性，所以本條規(guī)定中強(qiáng)調(diào)，實(shí)際測(cè)定，和.模擬振源,的影響，4.1 4.近年來(lái)，電子工業(yè)潔凈廠房的總平面布置時(shí)，在充分考慮電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和具體工程項(xiàng)目中潔凈廠房?jī)?nèi)各功能區(qū) 包括潔凈生產(chǎn)區(qū)、輔助生產(chǎn)區(qū)、非潔凈生產(chǎn)區(qū),公用動(dòng)力系統(tǒng)和辦公等功能區(qū)，合理布置的情況下。在合理進(jìn)行人流.物流組織、方便運(yùn)行維護(hù)管理，合理布置公用動(dòng)力管線。降低能量消耗,確保安全生產(chǎn)的條件下,常常將電子工業(yè)潔凈廠房按組合式.大體量的綜合性廠房布置、這些電子工廠投入使用后得到了各方面的認(rèn)同，4，1,5,4、1 6，為減少電子工業(yè)潔凈廠房周圍的塵源或散發(fā)微粒的數(shù)量、在規(guī)范中規(guī)定 在潔凈廠房周圍及其周邊或?qū)τ谠O(shè)有潔凈廠房的電子工廠內(nèi)相關(guān)道路的路面選擇時(shí)。應(yīng)選擇整體性能好.不易產(chǎn)生裂縫的材料、不得選用容易發(fā)塵材料鋪砌,通常推薦采用瀝青路面，目前 電子工業(yè)潔凈廠房周圍進(jìn)行綠化時(shí) 一般可以采用鋪草坪的方式或草坪間種灌木等樹種的方式,由于電子產(chǎn)品的品種較多,不可能推薦一種綠化方式,考慮到種植各類樹種,花草等可能產(chǎn)生花粉等塵粒,并且微粒的化學(xué)組成十分復(fù)雜,為確保產(chǎn)品質(zhì)量.本規(guī)范中規(guī)定.不宜種植對(duì)生產(chǎn)環(huán)境和產(chǎn)品質(zhì)量有影響的植物 4 1、7,本條編寫的依據(jù)是現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范、GB。50016。2006中相關(guān)的規(guī)定 電子工業(yè)潔凈廠房?jī)?nèi)均設(shè)有人凈設(shè)施 物凈設(shè)施等技術(shù)措施.潔凈廠房?jī)?nèi)的疏散走道常常是曲折,多變，一旦出現(xiàn)火情后、為了方便消防人員能夠及時(shí)到達(dá)出事地點(diǎn)、為此.本條對(duì)潔凈廠房消防車道的設(shè)置不規(guī)定廠房占地面積下限值