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11、化學(xué)品供應(yīng)11.1。一般規(guī)定11、1、1,電子工業(yè)潔凈廠房常常需使用各種化學(xué)品,根據(jù)電子產(chǎn)品品種及其生產(chǎn)工藝的不同,各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)所使用的化學(xué)品是不相同的 其中以集成電路芯片制造過程,TFT.LCD生產(chǎn)過程所需的化學(xué)品品種多,有的純度要求嚴(yán)格.表25是這兩種電子產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈廠房內(nèi)所用的主要化學(xué)品種類、表26是有關(guān)資料提出的集成電路芯片64M生產(chǎn)過程部分化學(xué)品的質(zhì)量要求、11、1,2,電子工業(yè)潔凈廠房所用化學(xué)品如表25所列品種較多.它們的分類。儲存應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)、常用危險化學(xué)品的分類及標(biāo)志、GB.13690,常用危險化學(xué)品貯存通則,GB 15603等的相關(guān)規(guī)定。危險化學(xué)品按主要危險特性分為8類.即第1類爆炸品,第2類壓縮氣體和液化氣體 第3類易燃液體.第4類易燃固體,自燃物品和遇濕易燃物品 第5類氧化劑和有機氧化物.第6類有毒品.第7類放射性物品 第8類腐蝕品 由于各類化學(xué)品的性質(zhì)不同.因此常用化學(xué)危險品應(yīng)分區(qū),分類,分庫儲存,并不得與禁忌物料混合儲存、儲存化學(xué)危險品的建筑物不得有地下室或其他地下建筑,其耐火等級。層數(shù)、占地面積.安全疏散和防火間距。應(yīng)符合國家有關(guān)規(guī)定
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