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- 多晶硅工廠設計規(guī)范 GB 51034-2014
- 條文說明
- 1 總 則
- 2 術 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 廠址選擇及廠區(qū)規(guī)劃
- 5 工藝設計
- 6 電氣及自動化
- 7 輔助設施
- 7.1 壓縮空氣站
- 7.2 制 氮 站
- 7.3 制 氫 站
- 7.4 導 熱 油
- 7.5 純水制備
- 7.6 制 冷
- 7.7 蒸 汽
- 8 建筑結構
- 9 給水、排水和消防
- 10 采暖、通風與空氣調(diào)節(jié)
- 11 環(huán)境保護、安全和衛(wèi)生
- 12 節(jié)能、余熱回收
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7,4 導,熱，油7 4.2、多晶硅生產(chǎn)系統(tǒng)中三氯氫硅氫還原 還原尾氣干法回收 氯硅烷提純,三氯氫硅生產(chǎn)等工序都有可能選擇導熱油作為熱源,當多個生產(chǎn)工序選擇導熱油為熱源時.為減少導熱油輸送過程中的熱量損失，導熱油加熱系統(tǒng)應靠近熱量需求較大的主要負荷區(qū)