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5，工藝設(shè)計(jì)5,1 一般規(guī)定5,1、1。三氯氫硅氫還原法多晶硅生產(chǎn)工藝主要由還原,提純。干法回收和三氯氫硅生產(chǎn)四大主工藝系統(tǒng)組成.工藝流程見圖1.圖1.三氯氫硅氫還原生產(chǎn)工藝流程簡圖.多晶硅行業(yè)近年來發(fā)展迅速,其生產(chǎn)工藝和設(shè)備裝備水平較以前均有大幅度提升,每個(gè)主工藝都有幾種工藝方案選擇、為提高建設(shè)質(zhì)量以及整個(gè)行業(yè)的技術(shù)水平，本條對(duì)工藝流程的設(shè)計(jì)和工藝設(shè)備的選型進(jìn)行了規(guī)定 1。多晶硅工廠主要的能源消耗是電力和蒸汽 由此產(chǎn)生的成本超過了多晶硅成本的一半.不同的產(chǎn)品方案決定了不同的精餾提純流程和工藝，不同的建設(shè)規(guī)模和能源價(jià)格決定了不同的氫化工藝,不同的建設(shè)規(guī)模。能源價(jià)格和投資資金決定了還原爐等主要設(shè)備選型的經(jīng)濟(jì)性，2.3，國家大力提倡循環(huán)經(jīng)濟(jì)發(fā)展模式 以建設(shè)資源節(jié)約型 環(huán)境友好型的美麗社會(huì)為目標(biāo)。因此工廠建設(shè)中應(yīng)做到安全可靠.環(huán)保節(jié)能,技術(shù)先進(jìn) 經(jīng)濟(jì)合理、5.多晶硅生產(chǎn)是個(gè)較為復(fù)雜的系統(tǒng)工程，每個(gè)主工序的生產(chǎn)特點(diǎn)均有不同、如還原過程的一次轉(zhuǎn)化率低，只有10。左右 大量三氯氫硅和副產(chǎn)物以尾氣的形式進(jìn)入干法回收系統(tǒng)、干法回收應(yīng)具備吸納不同氣量。不同組分還原尾氣的能力。各個(gè)主工序之間生產(chǎn)能力應(yīng)有合理匹配和綜合平衡 5 1 5.現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn).多晶硅企業(yè)單位產(chǎn)品能源消耗限額。GB 29447中對(duì)多晶硅各生產(chǎn)單元的工藝電耗，蒸汽消耗 綜合電耗以及綜合能耗分別給出了限定值 準(zhǔn)入值。先進(jìn)值的要求,新建項(xiàng)目至少達(dá)到限額準(zhǔn)入值標(biāo)準(zhǔn)，本條規(guī)定各生產(chǎn)單元的蒸汽，電力及綜合能耗不大于限額準(zhǔn)入值 并達(dá)到先進(jìn)值.目的是節(jié)約資源能源.5。1。8,多晶硅生產(chǎn)過程伴有氫氣 三氯氫硅,二氯二氫硅.四氯化硅、氯化氫等危險(xiǎn)化學(xué)品、對(duì)于輸送易燃，易爆.有毒,有腐蝕性物料的設(shè)備和管道應(yīng)考慮其使用的安全性 防止泄漏、