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10,3，空氣調(diào)節(jié)與凈化10。3,1,廠房空氣潔凈度等級(jí)。溫度.濕度的設(shè)計(jì)應(yīng)滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝要求 10。3，2、存在下列情況之一時(shí)?？照{(diào)系統(tǒng)應(yīng)分開(kāi)設(shè)置、1。凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng).2.空氣中含有易燃。易爆物質(zhì)、3。容易產(chǎn)生交叉污染 對(duì)其他工序的產(chǎn)品質(zhì)量造成影響.4、對(duì)溫.濕度控制要求差別大，5、工藝設(shè)備散熱量相差懸殊.10、3。3，保證空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量應(yīng)符合下列規(guī)定.1，5級(jí)、8級(jí)潔凈室送風(fēng)量應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范。GB、50073的有關(guān)規(guī)定,2。生產(chǎn)太陽(yáng)能級(jí)多晶硅的還原爐室 當(dāng)空調(diào)系統(tǒng)為三級(jí)過(guò)濾時(shí).其送風(fēng)量應(yīng)按換氣次數(shù)大于或等于6次、h計(jì)算、10,3、4。空調(diào)系統(tǒng)新風(fēng)量應(yīng)取下列兩項(xiàng)中的較大值,1.補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新風(fēng)量之和。2,保證供給室內(nèi)每人每小時(shí)的新風(fēng)量,潔凈區(qū)不應(yīng)小于40m3 非潔凈區(qū)不應(yīng)小于30m3。10，3、5 潔凈室送風(fēng)可采用集中送風(fēng)或風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組送風(fēng)的方式,10，3 6 潔凈室與周?chē)鷧^(qū)域的壓差應(yīng)符合下列規(guī)定。1，不同等級(jí)的潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa，2。潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa.3.潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa 10 3、7.潔凈空調(diào)送風(fēng).回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉應(yīng)連鎖，正壓潔凈室連鎖程序應(yīng)為先啟動(dòng)送風(fēng)機(jī)。再啟動(dòng)回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī)。關(guān)閉時(shí)連鎖程序應(yīng)相反。10，3,8，單向流和混合流潔凈室的空態(tài)噪聲級(jí)不應(yīng)大于65dB A，非單向流潔凈室的空態(tài)噪聲級(jí)不應(yīng)大于60dB。A。10。3.9。還原車(chē)間應(yīng)獨(dú)立設(shè)置直流空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng).不應(yīng)回風(fēng)，10,3,10.腐蝕清洗室,硅棒破碎室。配件清洗室的空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)不宜回風(fēng)。10，3.11,潔凈空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)集中處理時(shí)。新風(fēng)處理機(jī)組應(yīng)符合下列規(guī)定，1.新風(fēng)應(yīng)經(jīng)過(guò)粗效過(guò)濾器處理。2。嚴(yán)寒地區(qū)新風(fēng)應(yīng)先預(yù)熱,3、送風(fēng)機(jī)宜采取變頻措施、10.3、12.空氣過(guò)濾器選用 布置應(yīng)符合下列規(guī)定,1，空氣凈化處理應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)選用過(guò)濾器、2、空氣過(guò)濾器處理風(fēng)量不應(yīng)大于額定風(fēng)量，3，中效.高中效,空氣過(guò)濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)系統(tǒng)的正壓段,4 亞高效和高效過(guò)濾器宜設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端,10 3,13 風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定 1。應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)和送風(fēng)量選用，2。送風(fēng)量應(yīng)能調(diào)節(jié),3、應(yīng)便于安裝.維修及過(guò)濾器更換。10,3.14、凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)機(jī)宜采用變頻裝置、