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5,工藝設(shè)計5.1,一般規(guī)定5.1.1、三氯氫硅氫還原法多晶硅生產(chǎn)工藝流程的設(shè)計和工藝設(shè)備的選型應(yīng)符合下列規(guī)定,1.應(yīng)對建設(shè)規(guī)模 產(chǎn)品方案.建廠條件。原料與燃料性能及價格,能源消耗.經(jīng)濟效益等進行技術(shù)經(jīng)濟比較后確定工藝流程和主要設(shè)備、2。應(yīng)選擇符合國家制造標(biāo)準(zhǔn) 節(jié)能環(huán)保,先進高效,安全可靠的工藝設(shè)備,3 應(yīng)采用符合循環(huán)經(jīng)濟要求的新技術(shù) 新工藝,新設(shè)備.4.物料平衡和能量平衡應(yīng)根據(jù)選定的工藝流程進行計算、5。不同工序的系統(tǒng)設(shè)計,設(shè)備選型與配備應(yīng)根據(jù)每個工序和單體設(shè)備的運轉(zhuǎn)效率及中間產(chǎn)品的操作需求綜合平衡后確定，并應(yīng)保證生產(chǎn)系統(tǒng)的操作彈性和余量，同時應(yīng)滿足生產(chǎn)負(fù)荷變化和生產(chǎn)安全的要求。6.在高海拔、高寒和濕熱地區(qū)建廠。應(yīng)根據(jù)海拔高度對工藝計算,設(shè)備選型進行修正,所選用的設(shè)備應(yīng)滿足其特殊環(huán)境要求、5，1.2，工藝布置應(yīng)符合下列規(guī)定,1、總平面布置應(yīng)滿足工藝流程的要求，宜留有發(fā)展空間,2、工藝車間宜根據(jù)工藝流程和設(shè)備選型確定、并應(yīng)在平面和空間上。滿足施工。安裝 操作、維護。監(jiān)測和通行的要求。5.1。3。工藝流程選擇、設(shè)備選型及工藝布置 應(yīng)根據(jù)多晶硅生產(chǎn)主要物料的易燃,易爆，有毒及火災(zāi)危險等危害特性確定 5，1、4、寒冷地區(qū)的管路系統(tǒng)應(yīng)采取防凍措施。5、1 5，新建、改建或擴建工廠內(nèi)各生產(chǎn)單元的蒸汽.電力及綜合能耗總額、不應(yīng)大于現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)，多晶硅企業(yè)單位產(chǎn)品能源消耗限額，GB，29447中規(guī)定的限額準(zhǔn)入值.5,1,6.工藝生產(chǎn)裝置應(yīng)設(shè)有事故緊急排放設(shè)施,工藝廢氣應(yīng)根據(jù)介質(zhì)種類、粉塵含量和危險性單獨或全廠分類 集中回收處理，5 1,7.工藝設(shè)計范圍應(yīng)包括三氯氫硅合成和四氯化硅氫化,氯硅烷提純 三氯氫硅氫還原,還原尾氣干法回收.多晶硅產(chǎn)品后處理 二氯二氫硅。DCS,反歧化等生產(chǎn)車間或單元、以及相應(yīng)的工藝輔助設(shè)施,5、1 8。工藝生產(chǎn)系統(tǒng)內(nèi)的設(shè)備,管道的材質(zhì)以及管閥件,應(yīng)根據(jù)物料性質(zhì)和工況條件選取，并應(yīng)采取相應(yīng)的安全防護措施 5。1，9.工藝主要生產(chǎn)房間潔凈度的設(shè)計要求宜符合本規(guī)范附錄C的規(guī)定。