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- 多晶硅工廠設(shè)計規(guī)范 GB 51034-2014
- 條文說明
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 廠址選擇及廠區(qū)規(guī)劃
- 5 工藝設(shè)計
- 6 電氣及自動化
- 7 輔助設(shè)施
- 8 建筑結(jié)構(gòu)
- 9 給水、排水和消防
- 10 采暖、通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)
- 11 環(huán)境保護、安全和衛(wèi)生
- 12 節(jié)能、余熱回收
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2，術(shù)。語2 0，4，四氯化硅氫化是將多晶硅生產(chǎn)中大量副產(chǎn)的四氯化硅轉(zhuǎn)化成三氯氫硅的工藝.目前已經(jīng)實現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)。比較成熟的氫化工藝有熱氫化,冷氫化.其中熱氫化是在1250 低壓條件下、四氯化硅和氫氣直接反應(yīng)生產(chǎn)三氯氫硅的工藝,該工藝具有易操作、反應(yīng)無雜質(zhì)帶入 后續(xù)精餾簡單 電耗高,轉(zhuǎn)化率低等特點.冷氫化是在500 高壓條件下.四氯化硅,氫氣與硅粉反應(yīng)生產(chǎn)三氯氫硅的工藝,該工藝具有電耗低、轉(zhuǎn)化率高,單體設(shè)備處理能力大,操作要求高等特點.