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5,2，三氯氫硅合成和四氯化硅氫化5、2、1.目前國(guó)內(nèi)多晶硅企業(yè)有的自建合成裝置。有的靠市場(chǎng)供應(yīng)補(bǔ)充 有的調(diào)整生產(chǎn)工藝將氫化和合成工序合二為一。因此各個(gè)企業(yè)應(yīng)根據(jù)各自情況來(lái)決定采用何種方式補(bǔ)充三氯氫硅、5、2 4,三氯氫硅合成的反應(yīng)氣體中含有粉塵,金屬氯化物等雜質(zhì)、這些物質(zhì)有可能堵塞設(shè)備和管道.影響生產(chǎn)系統(tǒng)的運(yùn)行，造成停車(chē)等問(wèn)題。因此需要采取合適的除塵工藝除去該類物質(zhì)，減少系統(tǒng)阻塞的可能性.保證較長(zhǎng)的運(yùn)行時(shí)間，減少停車(chē)檢修時(shí)間，5。2.7、目前國(guó)內(nèi)主流的四氯化硅處理方式為高溫氫化 冷氫化。各有優(yōu)缺點(diǎn),高溫氫化工藝單位產(chǎn)品耗電量高,冷氫化工藝雖然單位產(chǎn)品耗電量低 但是會(huì)引入新雜質(zhì)、與之配套的精餾提純工藝較為復(fù)雜,蒸汽消耗量較高、所以各個(gè)企業(yè)應(yīng)根據(jù)各自情況綜合比較后再?zèng)Q定采用何種氫化工藝，5。2 9 為保證冷氫化工序生產(chǎn)連續(xù)長(zhǎng)期運(yùn)行,應(yīng)定期排放固體含量很高的殘液。防止其堵塞管道和設(shè)備。由于殘液中含有硅粉.金屬氯化物等物質(zhì) 不適合長(zhǎng)距離輸送、而殘液需要回收有用組分、避免造成環(huán)境污染,因此冷氫化裝置應(yīng)配套殘液回收裝置.且就近配置.5,2 11。對(duì)于輸送易燃，易爆,有毒.有腐蝕性物料的設(shè)備應(yīng)考慮其使用的安全性.防止泄漏