8,4 潔凈設(shè)計(jì)及裝修8 4、1、還原、整理廠房潔凈設(shè)計(jì)及裝修應(yīng)符合下列規(guī)定、1。半導(dǎo)體級(jí)多晶硅還原廠房的還原爐室應(yīng)按潔凈廠房進(jìn)行設(shè)計(jì)。空氣潔凈度等級(jí)不應(yīng)低于8級(jí),平面布置、人員凈化。物流凈化,室內(nèi)裝修應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)、潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范。GB,50073的有關(guān)規(guī)定.當(dāng)設(shè)有通往整理廠房的連廊時(shí) 連廊的空氣潔凈度等級(jí)和處理方法應(yīng)與還原爐室的要求一致。宜符合本規(guī)范附錄C的規(guī)定 2、還原爐室地面宜采用耐磨的潔凈地面,當(dāng)采用水磨石地面時(shí)、應(yīng)采取防靜電措施,墻面宜采用外貼潔凈板或防靜電樹脂涂料,3.整理廠房空氣潔凈度等級(jí)及潔凈區(qū)劃分應(yīng)按工藝要求設(shè)置、空氣潔凈度不應(yīng)低于8級(jí)。平面布置,人員凈化 物流凈化 室內(nèi)裝修。應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn).潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范.GB.50073的有關(guān)規(guī)定,4 整理廠房的潔凈房間地面宜采用環(huán)氧自流平地面。聚氯乙烯、PVC,膜材料或水磨石地面、地面應(yīng)采取防靜電措施、8,4。2。其他建 構(gòu),筑物的地面及裝修應(yīng)符合下列規(guī)定 1,廠房地面與室外自然地坪高差宜大于或等于300mm,2,有潔凈要求的房間地面應(yīng)滿足工藝生產(chǎn)要求。地面應(yīng)平整 耐磨.易清洗,不易積聚靜電,避免眩光,不開裂 踢腳不應(yīng)突出墻面,地面墊層宜配筋,潮濕地區(qū)應(yīng)有防潮措施 3.潔凈房間的門窗 墻面,頂棚裝修應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn),潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范,GB、50073的有關(guān)規(guī)定、4。普通區(qū)輔助房間地面應(yīng)根據(jù)使用性質(zhì)和要求選用、室內(nèi)裝修應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn),建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范,GB。50222的有關(guān)規(guī)定,