12 2,生產(chǎn)工藝12 2 1,還原爐應(yīng)選用高效率,低能耗的爐型,12、2,2 多晶硅生產(chǎn)應(yīng)采用先進(jìn)的精餾技術(shù) 并應(yīng)將多晶硅生產(chǎn)各工序進(jìn)行物料平衡和能量平衡計算。應(yīng)確定能耗低.經(jīng)濟(jì)性好。競爭力強(qiáng)的工藝流程。12 2,3,多晶硅生產(chǎn)應(yīng)優(yōu)化工藝、采暖、通風(fēng) 空調(diào)參數(shù)及換熱網(wǎng)絡(luò),應(yīng)實(shí)現(xiàn)各種能量的梯級利用.12,2,4.多晶硅工廠應(yīng)利用多晶硅生產(chǎn)過程中的副產(chǎn)物,12。2 5。多晶硅工廠必須同步設(shè)計余熱利用系統(tǒng).還原爐和氫化反應(yīng)的余熱回收應(yīng)用于提純精餾塔再沸器的加熱 且余熱利用系統(tǒng)不應(yīng)影響多晶硅正常生產(chǎn)。不應(yīng)提高多晶硅能耗或降低產(chǎn)量,12 2、6,多晶硅生產(chǎn)過程應(yīng)選用節(jié)水 節(jié)能型產(chǎn)品,并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn) 節(jié)水型產(chǎn)品通用技術(shù)條件、GB、T。18870的有關(guān)規(guī)定、12、2 7.設(shè)備和管道應(yīng)選用保溫性能良好的絕熱材料 保溫設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)、工業(yè)設(shè)備及管道絕熱工程設(shè)計規(guī)范.GB 50264的有關(guān)規(guī)定、12,2,8.各裝置以及重要設(shè)備宜設(shè)置計量和檢測儀表 并宜設(shè)置調(diào)節(jié)控制裝置.以滿足全廠和各個系統(tǒng)單獨(dú)計量考核的要求,12 2.9.多晶硅工廠宜設(shè)置循環(huán)水系統(tǒng) 高純水系統(tǒng)、脫鹽水系統(tǒng)產(chǎn)生的潔凈廢水的回收和再利用設(shè)施