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5。工藝設(shè)計5,1,一般規(guī)定5，1。1,三氯氫硅氫還原法多晶硅生產(chǎn)工藝流程的設(shè)計和工藝設(shè)備的選型應(yīng)符合下列規(guī)定.1。應(yīng)對建設(shè)規(guī)模.產(chǎn)品方案,建廠條件.原料與燃料性能及價格,能源消耗,經(jīng)濟(jì)效益等進(jìn)行技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定工藝流程和主要設(shè)備，2。應(yīng)選擇符合國家制造標(biāo)準(zhǔn)。節(jié)能環(huán)保 先進(jìn)高效、安全可靠的工藝設(shè)備.3、應(yīng)采用符合循環(huán)經(jīng)濟(jì)要求的新技術(shù),新工藝。新設(shè)備 4.物料平衡和能量平衡應(yīng)根據(jù)選定的工藝流程進(jìn)行計算.5。不同工序的系統(tǒng)設(shè)計。設(shè)備選型與配備應(yīng)根據(jù)每個工序和單體設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)效率及中間產(chǎn)品的操作需求綜合平衡后確定。并應(yīng)保證生產(chǎn)系統(tǒng)的操作彈性和余量.同時應(yīng)滿足生產(chǎn)負(fù)荷變化和生產(chǎn)安全的要求，6。在高海拔.高寒和濕熱地區(qū)建廠。應(yīng)根據(jù)海拔高度對工藝計算。設(shè)備選型進(jìn)行修正 所選用的設(shè)備應(yīng)滿足其特殊環(huán)境要求.5,1、2.工藝布置應(yīng)符合下列規(guī)定.1 總平面布置應(yīng)滿足工藝流程的要求 宜留有發(fā)展空間.2。工藝車間宜根據(jù)工藝流程和設(shè)備選型確定。并應(yīng)在平面和空間上,滿足施工.安裝 操作,維護(hù) 監(jiān)測和通行的要求,5 1,3，工藝流程選擇、設(shè)備選型及工藝布置 應(yīng)根據(jù)多晶硅生產(chǎn)主要物料的易燃,易爆，有毒及火災(zāi)危險等危害特性確定 5 1、4，寒冷地區(qū)的管路系統(tǒng)應(yīng)采取防凍措施、5,1 5,新建 改建或擴(kuò)建工廠內(nèi)各生產(chǎn)單元的蒸汽 電力及綜合能耗總額.不應(yīng)大于現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)、多晶硅企業(yè)單位產(chǎn)品能源消耗限額,GB,29447中規(guī)定的限額準(zhǔn)入值。5,1、6,工藝生產(chǎn)裝置應(yīng)設(shè)有事故緊急排放設(shè)施.工藝廢氣應(yīng)根據(jù)介質(zhì)種類、粉塵含量和危險性單獨或全廠分類，集中回收處理，5、1。7,工藝設(shè)計范圍應(yīng)包括三氯氫硅合成和四氯化硅氫化.氯硅烷提純，三氯氫硅氫還原。還原尾氣干法回收，多晶硅產(chǎn)品后處理、二氯二氫硅，DCS 反歧化等生產(chǎn)車間或單元.以及相應(yīng)的工藝輔助設(shè)施.5 1、8、工藝生產(chǎn)系統(tǒng)內(nèi)的設(shè)備.管道的材質(zhì)以及管閥件。應(yīng)根據(jù)物料性質(zhì)和工況條件選取，并應(yīng)采取相應(yīng)的安全防護(hù)措施。5。1。9、工藝主要生產(chǎn)房間潔凈度的設(shè)計要求宜符合本規(guī)范附錄C的規(guī)定，