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- 多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 51034-2014
- 條文說明
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 廠址選擇及廠區(qū)規(guī)劃
- 5 工藝設(shè)計(jì)
- 5.1 一般規(guī)定
- 5.2 三氯氫硅合成和四氯化硅氫化
- 5.3 氯硅烷提純
- 5.4 三氯氫硅氫還原
- 5.3 氯硅烷提純
- 5.6 硅芯制備及多晶硅產(chǎn)品后處理
- 5.7 分析檢測
- 6 電氣及自動(dòng)化
- 7 輔助設(shè)施
- 8 建筑結(jié)構(gòu)
- 9 給水、排水和消防
- 10 采暖、通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)
- 11 環(huán)境保護(hù)、安全和衛(wèi)生
- 12 節(jié)能、余熱回收
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- 建筑廢棄物再生工廠設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)[附條文說明] GB 51322-2018
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5，4 三氯氫硅氫還原5 4，1。光伏制造行業(yè)規(guī)范條件,工信部2013年第47號(hào) 規(guī)定,新建和改.擴(kuò)建項(xiàng)目還原電耗小于60kW，h,kg、還原電耗是多晶硅生產(chǎn)的主要能源消耗，本條規(guī)定的目的是節(jié)約資源能源 5.4。2，供料系統(tǒng)是指將三氯氫硅液體汽化后和氫氣混合以氣態(tài)的形式送入還原爐內(nèi)。若輸送管線過長，容易出現(xiàn)氣體液化現(xiàn)象、影響產(chǎn)品質(zhì)量和安全,因此還原爐供料系統(tǒng)應(yīng)靠近或緊靠還原車間。5,4，5，本條中生產(chǎn)太陽能級(jí)多晶硅的還原爐室至少采用三級(jí)過濾的潔凈新風(fēng)。主要是防止新風(fēng)內(nèi)的粉塵對(duì)硅料造成二次污染,5.4 6，如果遇到突發(fā)事故導(dǎo)致冷卻介質(zhì)，主要是指高溫水 不流動(dòng)或還原爐局部過熱、冷卻介質(zhì)汽化超壓將發(fā)生安全事故.因此需在頂部夾套處設(shè)置排氣口和安全閥、保護(hù)還原爐及其夾套.保證還原爐安全運(yùn)行。同時(shí)安全閥的泄放口要引至安全處.避免泄放傷人。