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10。3。空氣調(diào)節(jié)與凈化10。3。2。本條主要是從安全,節(jié)能、環(huán)保及便于運(yùn)行管理等方面考慮的 10。3,3。本條中空氣潔凈度等級及送風(fēng)量主要依據(jù)現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)，潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范,GB。50073.潔凈室送風(fēng)量、靜態(tài),和氣流流型見表1,表1,潔凈室送風(fēng)量，靜態(tài)、和氣流流型、表1中換氣次數(shù)適用于層高小于4,0m的潔凈室。室內(nèi)人員少。熱源少時(shí).宜采用下限值。根據(jù)國內(nèi)現(xiàn)有多晶硅生產(chǎn)廠房的實(shí)際情況制訂的，三級過濾。就是將粗.中 高效過濾段全部設(shè)在凈化空調(diào)機(jī)組內(nèi)、用風(fēng)管將凈化的空氣直接送入潔凈室或房間.不再設(shè)高效過濾器送風(fēng)口，這種空氣凈化形式可以滿足多晶硅廠房部分工藝生產(chǎn)的要求 減少投資、運(yùn)行管理方便。這里規(guī)定還原爐室的送風(fēng)換氣次數(shù)，主要是對應(yīng)還原爐室的排風(fēng)量不得小于6次。h的換氣次數(shù)，10,3。4.本條是強(qiáng)制性條文.關(guān)于潔凈室新鮮空氣量的問題，現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)、工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn).GBZ。1和，采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范，GB、50019都對空調(diào)房間人員所需最小新風(fēng)量作了強(qiáng)制規(guī)定.工業(yè)建筑應(yīng)保證每人不小于30m3、h的新風(fēng)量 現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)，潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范.GB。50073規(guī)定,保證供給潔凈室每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3 因此本規(guī)定對潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)的新風(fēng)量采用了不同標(biāo)準(zhǔn)、以保障人身安全 10。3、5.集中送風(fēng),是指凈化空調(diào)機(jī)組設(shè)在空調(diào)機(jī)房.空氣經(jīng)過過濾、加熱.制冷。加濕等集中處理之后、由風(fēng)管送入潔凈室.風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組、是指由風(fēng)機(jī)和高效過濾單元組成的機(jī)組 多晶硅廠房凈化空調(diào)系統(tǒng)、一般潔凈等級在6級以下時(shí)。采用集中送風(fēng)形式.潔凈等級在5級以上,包括5級，時(shí)、采用集中送風(fēng)加風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組的形式.10 3,6,本條是強(qiáng)制性條文、對潔凈室壓差控制作出規(guī)定、為了保證潔凈室在正常工作或空氣平衡暫時(shí)受到破壞時(shí)，氣流能從空氣潔凈度高的區(qū)域流向空氣潔凈度低的區(qū)域,而且潔凈室的潔凈度不受污染空氣的干擾、所以潔凈室與周圍環(huán)境應(yīng)保持一定的壓差 10，3.7。本條是保證潔凈室壓差控制的措施，10，3.8、本條對潔凈室噪聲級提出要求，空態(tài) 是指潔凈室設(shè)施已經(jīng)建成，所有動力接通并運(yùn)行 但無生產(chǎn)設(shè)備 材料及人員的階段,10 3.9 本條是強(qiáng)制性條文,還原車間生產(chǎn)使用氫氣.火災(zāi)危險(xiǎn)性分類為甲類 現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn).采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范、GB，50019相關(guān)條文強(qiáng)制規(guī)定、甲。乙類生產(chǎn)廠房不應(yīng)使用循環(huán)空氣，以保障人身安全 10、3。10 腐蝕清洗室 配件清洗室、硅棒破碎室空氣潔凈度分別為7級以上.8級,7級.工藝生產(chǎn)有酸性腐蝕性氣體或有粉塵 局部排風(fēng)不能完全排除酸氣及粉塵,這樣凈化空調(diào)系統(tǒng)就不應(yīng)回風(fēng)，10。3.11。本條是潔凈廠房設(shè)置多套凈化空調(diào)系統(tǒng).新風(fēng)集中處理的時(shí)候?qū)π路繖C(jī)組功能的要求,主要是為了安全和節(jié)能。10 3 12、空氣過濾器分類 性能指標(biāo)參照了現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn),空氣過濾器，GB T.14295和 高效空氣過濾器,GB,T,13554的規(guī)定,在多晶硅廠房設(shè)計(jì)中、一般常用的過濾器有粗效過濾器 中效過濾器,亞高效過濾器，高效過濾器、過濾器的額定風(fēng)量是過濾器在一定的過濾風(fēng)速下.其效率和阻力最合理時(shí)的風(fēng)量.如果大于額定風(fēng)量 過濾器阻力增大、導(dǎo)致系統(tǒng)阻力增加。對于高效過濾器、風(fēng)速過大有可能吹破濾紙，中效過濾器集中設(shè)置在凈化空調(diào)機(jī)組的正壓段,主要是考慮到機(jī)組的負(fù)壓段向內(nèi)漏風(fēng)，影響過濾效果.一般有潔凈等級的潔凈室 高效過濾器宜設(shè)在空調(diào)系統(tǒng)末端,對于三級過濾凈化空調(diào)、高效過濾器可設(shè)在凈化空調(diào)機(jī)組內(nèi)中效過濾器后的正壓段上 10、3,14 在凈化空調(diào)系統(tǒng)中，空氣過濾器的阻力占空調(diào)系統(tǒng)總阻力的比例很大、空氣過濾器的阻力會隨著容塵量的增多而增加,使系統(tǒng)的風(fēng)量減少.因此在計(jì)算系統(tǒng)阻力時(shí)應(yīng)按過濾器的終阻力計(jì)算、系統(tǒng)初運(yùn)行時(shí),過濾器初阻力較小，系統(tǒng)阻力低 風(fēng)機(jī)采用變頻裝置可以調(diào)節(jié)風(fēng)量.達(dá)到節(jié)能目的