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9、3、廢水處理9.3.1。處理后廢水應(yīng)優(yōu)先回用至尾氣淋洗工藝,多余部分外排。9,3 2,多晶硅工廠產(chǎn)生的生產(chǎn)廢水主要為尾氣淋洗廢液,廢液處理設(shè)施盡量與尾氣淋洗設(shè)施就近設(shè)置、同時(shí)考慮處理用藥劑及產(chǎn)生污泥的運(yùn)輸 9,3 4,本條是強(qiáng)制性條文.硅料清洗產(chǎn)生的含氟廢酸氟含量偏高 腐蝕性強(qiáng),在處理時(shí)應(yīng)采取措施防止液體泄漏及氫氟酸揮發(fā)至大氣中,造成污染。故應(yīng)單獨(dú)處理,同時(shí)單獨(dú)處理含氟廢酸、可減少處理藥劑用量.保證整個(gè)工廠處理排水最終達(dá)標(biāo)排放,此部分廢液可先單獨(dú)預(yù)處理后再與其他生產(chǎn)廢水混合處理、9、3,5.廢水調(diào)節(jié)池 尾氣淋洗水解池等泄漏時(shí)、會(huì)對(duì)地下水造成污染,宜在地下水下游設(shè)置1處檢測(cè)點(diǎn),監(jiān)測(cè)地下水酸堿度,pH值、氯、氟及溶解鹽等污染物的含量
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