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- 多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 51034-2014
- 條文說(shuō)明
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語(yǔ)
- 3 基本規(guī)定
- 4 廠址選擇及廠區(qū)規(guī)劃
- 5 工藝設(shè)計(jì)
- 6 電氣及自動(dòng)化
- 7 輔助設(shè)施
- 7.1 壓縮空氣站
- 7.2 制 氮 站
- 7.3 制 氫 站
- 7.4 導(dǎo) 熱 油
- 7.5 純水制備
- 7.6 制 冷
- 7.7 蒸 汽
- 8 建筑結(jié)構(gòu)
- 9 給水、排水和消防
- 10 采暖、通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)
- 11 環(huán)境保護(hù)、安全和衛(wèi)生
- 12 節(jié)能、余熱回收
熱門(mén)資源
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- 托兒所、幼兒園建筑設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說(shuō)明]（2019年版） JGJ 39-2016（2019年版）
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- 倒置式屋面工程技術(shù)規(guī)程[附條文說(shuō)明] JGJ 230-2010
- 冷庫(kù)設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)[附條文說(shuō)明] GB 50072-2021
- 建筑采光設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)[附條文說(shuō)明] GB 50033-2013
- 屋面工程技術(shù)規(guī)范[附條文說(shuō)明] GB 50345-2012
7.5。純水制備7、5、3、本條主要對(duì)純水的水質(zhì)提出要求 由于純水主要用于清洗硅料。硅芯和石墨件.為了避免對(duì)清洗料二次污染。所以對(duì)水質(zhì)要求比較高.表7,5 3中的指標(biāo)數(shù)據(jù)主要依據(jù)了美國(guó)，電子和半導(dǎo)體工業(yè)用超純水標(biāo)準(zhǔn)指南 ASTM、D5127中E.1級(jí)的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn),7。5、4，本條第2款規(guī)定純水系統(tǒng)應(yīng)采用循環(huán)方式。主要是為了保證管道內(nèi)水的流動(dòng)性。減少死水區(qū)、減小管道材料對(duì)水質(zhì)的影響 防止微牛物及細(xì)菌的滋生、