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- 多晶硅工廠設(shè)計規(guī)范 GB 51034-2014
- 條文說明
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 廠址選擇及廠區(qū)規(guī)劃
- 5 工藝設(shè)計
- 5.1 一般規(guī)定
- 5.2 三氯氫硅合成和四氯化硅氫化
- 5.3 氯硅烷提純
- 5.4 三氯氫硅氫還原
- 5.3 氯硅烷提純
- 5.6 硅芯制備及多晶硅產(chǎn)品后處理
- 5.7 分析檢測
- 6 電氣及自動化
- 7 輔助設(shè)施
- 8 建筑結(jié)構(gòu)
- 9 給水、排水和消防
- 10 采暖、通風與空氣調(diào)節(jié)
- 11 環(huán)境保護、安全和衛(wèi)生
- 12 節(jié)能、余熱回收
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5 5，還原尾氣干法回收5.5 2,多晶硅還原生長過程中往往采用一些強化生產(chǎn)的手段、提高硅棒的生長速度.降低還原直接電耗 這也隨之產(chǎn)生了大量的無定形硅 這些無定型硅若得不到及時回收。將對后續(xù)工序的壓縮機、泵等設(shè)備造成損害、5、5 5,對于輸送易燃，易爆、有毒，有腐蝕性物料的設(shè)備應考慮其使用的安全性,防止泄漏，