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- 多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 51034-2014
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語(yǔ)
- 3 基本規(guī)定
- 4 廠址選擇及廠區(qū)規(guī)劃
- 5 工藝設(shè)計(jì)
- 6 電氣及自動(dòng)化
- 7 輔助設(shè)施
- 8 建筑結(jié)構(gòu)
- 9 給水、排水和消防
- 10 采暖、通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)
- 11 環(huán)境保護(hù)、安全和衛(wèi)生
- 12 節(jié)能、余熱回收
- 附錄A 地下管線與建(構(gòu))筑物之間的最小水平凈距
- 附錄B 地下管線之間的最小水平凈距
- 附錄C 主要房間空氣潔凈度、溫度、濕度
- 本規(guī)范用詞說(shuō)明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說(shuō)明
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1、總,則1,0，1、為規(guī)范多晶硅工廠的工程設(shè)計(jì),提高工程設(shè)計(jì)質(zhì)量，做到技術(shù)先進(jìn)。經(jīng)濟(jì)合理、安全可靠，環(huán)保節(jié)能.制定本規(guī)范.1、0、2，本規(guī)范適用于采用三氯氫硅氫還原法的新建，擴(kuò)建和改建多晶硅工廠的工程設(shè)計(jì).也適用于硅烷歧化法多晶硅廠中三氯氫硅合成 四氯化硅氫化和氯硅烷提純的工程設(shè)計(jì).1、0 3.多晶硅工廠設(shè)計(jì)應(yīng)積極采用節(jié)能，環(huán)保,高效，先進(jìn)的裝備和工藝.提高資源，能源利用率，實(shí)現(xiàn)物料,能源綜合利用和清潔生產(chǎn)、1.0 4 多晶硅工廠設(shè)計(jì)除應(yīng)符合本規(guī)范外,尚應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。