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- 集成電路封裝測試廠設(shè)計規(guī)范 GB 51122-2015
- 條文說明
- 3 工藝設(shè)計
- 4 廠址選擇及布局
- 5 建筑與結(jié)構(gòu)
- 6 給排水與消防
- 7 電 氣
- 8 凈化空調(diào)及工藝排風(fēng)
- 9 純水與廢水處理
- 10 氣體與真空
- 10.1 大宗氣體
- 10.2 干燥壓縮空氣
- 10.3 真 空
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- 住宅建筑規(guī)范[附條文說明] GB 50368-2005
- 住宅設(shè)計規(guī)范[附條文說明] GB 50096-2011
- 液化石油氣供應(yīng)工程設(shè)計規(guī)范[附條文說明] GB 51142-2015
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- 城鄉(xiāng)歷史文化保護利用項目規(guī)范[附條文說明] GB 55035-2023
10.3、真 空10，3、1.由于工藝真空的壓力對管道長度和直徑非常敏感,為減少真空管道從真空使用點到真空站的距離，條文規(guī)定工藝真空系統(tǒng)設(shè)備應(yīng)該放置于生產(chǎn)廠房的一個或多個真空站.根據(jù)真空系統(tǒng)的平面布置并經(jīng)過真空系統(tǒng)計算確定真空站的具體位置與真空站數(shù)量、為防止因為壓力過低導(dǎo)致真空系統(tǒng)與真空管道的破壞、條文規(guī)定工藝真空系統(tǒng)設(shè)置真空壓力過低保護裝置,10.3，2。樹枝狀的真空管道布置節(jié)約管材，同時管道距離較短 容易形成真空.所以規(guī)定真空管道布置采用樹枝狀形式、另外考慮真空管道系統(tǒng)內(nèi)部壓力低于管道外的大氣壓.規(guī)定工藝真空系統(tǒng)選用鍍鋅鋼管或厚壁聚氯乙烯作為真空管道、一是防止管道因為真空壓力過大造成管道的破壞、二是上述兩種管道成本較低、