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- 集成電路封裝測試廠設(shè)計規(guī)范 GB 51122-2015
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 工藝設(shè)計
- 4 廠址選擇及布局
- 5 建筑與結(jié)構(gòu)
- 6 給排水與消防
- 7 電 氣
- 8 凈化空調(diào)及工藝排風(fēng)
- 9 純水與廢水處理
- 9.1 純 水
- 9.2 廢水處理
- 10 氣體與真空
- 附錄A 集成電路封裝測試廠工藝流程
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標準名錄
- 條文說明
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9,純水與廢水處理9，1。純。水9,1。1,純水系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，確定純水制備系統(tǒng)規(guī)模、供水水質(zhì)。當主體工程分期建設(shè)時，純水系統(tǒng)應(yīng)按最終規(guī)模統(tǒng)一規(guī)劃.合理布局、分期實施 9.1,2.純水制備 儲存和輸送設(shè)備和材料除應(yīng)滿足水量和水質(zhì)要求外，并應(yīng)光潔。平整，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定。9 1，3 純水系統(tǒng)應(yīng)采用循環(huán)供水方式,并應(yīng)符合下列規(guī)定,1、純水輸配系統(tǒng)的附加循環(huán)水量宜為額定耗用水量的20，50,2、純水回水干管末端應(yīng)設(shè)置背壓調(diào)節(jié)閥組。3、純水管道流速選擇應(yīng)能有效防止水質(zhì)降低和微生物的滋生.并應(yīng)兼顧壓力損失、供?；厮芰魉俨灰说陀?.5m、s和0.5m s。4。純水輸配管路不應(yīng)出現(xiàn)死水滯留的管段。5、純水輸配管路系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)系統(tǒng)運行維護要求設(shè)置對應(yīng)的采樣口，6。工藝設(shè)備二次配管 隔離閥離設(shè)備較遠時，宜安裝回水管，9.1，4 純水系統(tǒng)水質(zhì)檢測設(shè)備及儀表的檢測范圍和精度應(yīng)符合純水生產(chǎn)和檢驗的要求.9,1，5、純水系統(tǒng)循環(huán)水泵宜采用變頻控制.并宜設(shè)置備用泵 9。1,6,純水系統(tǒng)拋光回路中所需的保持流量與水質(zhì)的設(shè)備宜接入應(yīng)急電源。9,1.7，純水系統(tǒng)廢水回收設(shè)計應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)計密切配合,確定回收率