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10,氣體與真空10 1、大宗氣體10 1，1，大宗氣體供應(yīng)系統(tǒng)宜采用在廠區(qū)內(nèi)設(shè)置制氣裝置或外購(gòu)液態(tài)氣儲(chǔ)罐和瓶裝氣體方式.10、1.2 大宗氣體供應(yīng)系統(tǒng)宜設(shè)置氣體質(zhì)量監(jiān)控系統(tǒng),10。1。3,當(dāng)氣體的純度大于99,9999 露點(diǎn)低于.40,時(shí) 大宗氣體應(yīng)設(shè)置終端氣體純化裝置,氣體終端純化裝置應(yīng)設(shè)置在用氣點(diǎn)處.10、1 4,生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的大宗氣體管道等應(yīng)采取下列技術(shù)措施。1，管道及閥門(mén)附件內(nèi)壁處理等級(jí)應(yīng)滿足輸送氣體的品質(zhì)要求,2，混合氣體管道的終端或最高點(diǎn)應(yīng)設(shè)置放散管、放散管口應(yīng)設(shè)置阻火器 3，混合氣體管道應(yīng)設(shè)置導(dǎo)出靜電的設(shè)施 4,混合氣體引入管道上應(yīng)設(shè)置自動(dòng)切斷閥。10。1，5、氣體管道和閥門(mén)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇。宜符合下列規(guī)定，1 當(dāng)氣體純度大于99.99。露點(diǎn)低于.40 時(shí).宜采用內(nèi)壁處理的不銹鋼管、閥門(mén)宜采用波紋管閥或球閥,2,氣體管道閥門(mén)，附件的材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)一致。10.1,6,氣體管道連接 宜符合下列規(guī)定、1，管道連接宜采用焊接 不銹鋼管宜采用氬弧焊.2.管道與設(shè)備或閥門(mén)的連接 宜采用表面密封接頭，密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊,