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8,凈化空調及工藝排風8。1、凈化空調8 1 3。為保證潔凈室空氣平衡和潔凈室內的正壓值,新鮮空氣量應等于補償室內排風量和保持室內正壓值所需新鮮空氣量之和 同時新鮮空氣量應滿足人員新鮮空氣需求量 因此,取兩者之中的最大值，現(xiàn)行國家標準,采暖通風與空氣調節(jié)設計規(guī)范，GB，50019.2003規(guī)定，工業(yè)建筑應保證每人不小于30m3。h的新風量，現(xiàn)行國家標準 潔凈廠房設計規(guī)范，GB、50073、2001規(guī)定 保證供給潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。h。因此,制訂了本條的規(guī)定。8 1、4 潔凈室與相鄰的房間應保持一定壓差,確保潔凈室在正常狀態(tài)或空氣平衡暫時受到破壞時.氣流只能從空氣潔凈度等級高的房間流向空氣潔凈度等級低的區(qū)域,使?jié)崈羰覂鹊臐崈舳炔粫艿轿廴究諝獾挠绊?、滲漏空氣量與壓差值有關,壓差值選擇應適當,若壓差值過小.潔凈室正壓很容易被破壞、潔凈室的潔凈度會受到影響，若壓差值過大.滲漏風量會較大、補充新風量就相應增加 新風空調冷熱負荷也會相應增加.新風空調器容量也會增大 過濾器負荷也會增加,過濾器使用壽命也會縮短，試驗結果表明.潔凈室內正壓值小于5Pa時 潔凈室外的污染空氣就有可能滲入潔凈室內,室外空氣在潔凈廠房的迎風面上產生正壓,在背風面上產生負壓.因此、潔凈室相對于室外的壓差參照點應位于迎風面,潔凈室與室外的相對壓力應大于或等于5Pa 8、1。5。集成電路封裝測試廠潔凈室面積大，新風量也大、通常采用多臺新風機組集中處理新風 集中處理新風具有以下優(yōu)點,新風集中處理可以去除新風中的絕大部分的灰塵。有效延長末級高效空氣過濾器,HEPA 的使用壽命,新風集中處理有利于潔凈室濕度控制 避免冷熱抵銷 節(jié)約能耗、通常集成電路封裝廠房新風機組有多臺。一般并聯(lián)運行，由于工藝設備分期安裝、實際生產負荷率也是根據(jù)市場需求變化而變化的.工藝設備排風量會隨運行設備數(shù)量和運行負荷率的變化而變化 新風量也是變化的。因此.新風系統(tǒng)送風機宜采用變頻措施 以適應新風需求量的變化。此外由于潔凈室內不同生產區(qū)域的潔凈度等級,溫度。相對濕度要求各不相同 發(fā)熱量也不相同，因此。建議分區(qū)設置循環(huán)空調系統(tǒng) 對于循環(huán)空調系統(tǒng)包括冷卻設備、高效空氣過濾器。空氣循環(huán)通道?？諝饫鋮s設備可采用循環(huán)空調機組或干盤管，為了避免盤管供水溫度低于進風空氣露點。將會導致結露產生冷凝水 對潔凈室濕度控制產生干擾 同時采用干式冷卻可以使用溫度較高的冷凍水供水溫度、可以采用中溫冷水機單獨制備中溫冷凍水。提高了冷水機組性能系數(shù),從而達到了節(jié)能效果.夏季室外空氣含濕量高于潔凈室含濕量，需要去濕處理到露點.當室內發(fā)熱負荷較小時 必須采用再加熱或二次回風.才能使室內空氣溫度和相對濕度均達到設計狀態(tài) 采用二次回風方式可以避免冷熱量抵銷。達到節(jié)能目的.8 1.6.凈化空調系統(tǒng)過濾器的選用和布置將會影響潔凈室潔凈度，過濾器使用壽命和運行費用 1 潔凈室內空氣含塵濃度與過濾器的總效率和換氣次數(shù)直接相關 當送風換氣次數(shù)確定后，如果過濾器總效率不足 將會造成潔凈室空氣濃度超出潔凈度等級限值,無法滿足工藝要求。末級過濾器效率直接影響送風含塵濃度和潔凈室內空氣含塵濃度。因此、末級過濾器效率選擇是至關重要的，預過濾器、初效。中效，高中效、高效、對末級過濾器起到保護作用.如果預過濾器效率低.將無法對下一級過濾器起到保護作用、下一級過濾器的使用壽命將會縮短，如果兩級過濾器效率過于接近.將會增加系統(tǒng)阻力.但總過濾效率增加并顯著.為了延長集成電路封裝廠房潔凈室末級過濾器壽命和確保潔凈室潔凈度等級，其新風空調機組一般設置初效 中效 高效三級過濾器,2、空氣過濾器阻力近似與處理風量平方成正比例。如果過濾器處理風量大于額定風量,阻力增加很大，空調系統(tǒng)運行電耗增加.同時、也會減少過濾器的容塵量和使用壽命。造成運行維護費用增加，3。如果空調箱的末級過濾器，中效或高效過濾器.安裝在空調箱的負壓段 污染空氣會通過空調箱箱體縫隙滲漏進入空調箱內,將會使經過過濾處理后的清潔空氣被再次污染 集中安裝主要是便于維護.4 凈化系統(tǒng)末級過濾器是整個系統(tǒng)的核心。安裝在系統(tǒng)的末端可以有效濾除管路中污染物,5.同一凈化空調系統(tǒng)采用阻力，效率相近的末端高效過濾器，隨著系統(tǒng)運行時間增加 過濾器的阻力增加幅度相近,各過濾器的流通能力相同.可以保持各潔凈區(qū)的潔凈度滿足要求 過濾器也基本上同時達到使用壽命,也便于維護管理,6 同一凈化空調系統(tǒng)內末端高效過濾器的設計使用風量與額定風量的比值相近、各過濾器的積塵速度也相近，過濾器的阻力增加幅度相近，各過濾器的流通能力相同 可以保持各潔凈區(qū)的潔凈度滿足要求，過濾器也基本上同時達到使用壽命 也便于維護管理。7,由于凈化廠房空氣循環(huán)量大,發(fā)生火災時火災污染物很容易擴散到整個潔凈區(qū)，且恢復生產區(qū)潔凈度難度大 因此,規(guī)定了,安裝在潔凈廠房潔凈區(qū)內的高效空氣過濾器應采用不燃材料制作 高效空氣過濾器濾芯和外框應采用不燃材料，密封膠應采用難燃材料，