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- 集成電路封裝測試廠設(shè)計規(guī)范 GB 51122-2015
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 工藝設(shè)計
- 4 廠址選擇及布局
- 5 建筑與結(jié)構(gòu)
- 6 給排水與消防
- 6.1 給 排 水
- 6.2 工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)
- 6.3 消防給水和滅火設(shè)備
- 7 電 氣
- 8 凈化空調(diào)及工藝排風
- 9 純水與廢水處理
- 10 氣體與真空
- 附錄A 集成電路封裝測試廠工藝流程
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標準名錄
- 條文說明
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6。2，工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)6.2.1。工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求的水溫.水壓條件進行設(shè)置.當水溫、水壓要求不同時宜分開設(shè)置 6、2.2。工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定 1,水泵宜采用變頻調(diào)速控制.2,循環(huán)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置備用泵,供水能力不應(yīng)小于最大一臺運行水泵的額定供水能力、6.2,3。工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置過濾器及滅菌裝置、過濾器宜備用。過濾精度應(yīng)根據(jù)工藝設(shè)備對水質(zhì)的要求確定，6、2 4.工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的換熱設(shè)備宜設(shè)置備用機組 6,2，5.循環(huán)水箱的有效容積不宜小于小時循環(huán)水量的10。且應(yīng)設(shè)置水位報警裝置和自動及應(yīng)急補水系統(tǒng).6、2,6,工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)管道的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定，1，管道應(yīng)設(shè)置泄水閥。排氣閥和排污口。2。工藝冷卻水管道材質(zhì)宜采用不銹鋼管。給水UPVC管或聚丙烯PP管.3.管道附件與閥門材質(zhì)宜與管道相同，4。采用不同金屬材料的管道和支架時,管道和支架間的隔墊應(yīng)采用絕緣材料 6，2.7、工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置水質(zhì)穩(wěn)定處理裝置.