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11 2 系統(tǒng)設(shè)計及有害氣體凈化11。2，1、對于高大廠房,按整個車間12次.小時換氣計算事故通風(fēng)量時。事故通風(fēng)系統(tǒng)龐大。且事故通風(fēng)量不一定合理.因此規(guī)定廠房以6m高度為限,當房間高度小于或等于6m時,按房間實際容積計算。當房間高度大于6m時，按6m的空間體積計算、通過合理布置吸風(fēng)口，可以讓事故通風(fēng)系統(tǒng)發(fā)揮最大的作用.吸風(fēng)口的布置要符合本標準第11.1 3條的規(guī)定，11,2.2 事故排風(fēng)能夠由經(jīng)常使用的排風(fēng)系統(tǒng)和事故排風(fēng)系統(tǒng)共同保證.11,2,3，計算事故狀態(tài)下的最大泄漏量一般考慮最不利情況、即單位時間內(nèi)在最大儲存壓力和最高溫度下的泄漏量 11 2,4，按照本標準11，1.8條的規(guī)定。事故排風(fēng)系統(tǒng)排出口有害物質(zhì)濃度要不高于立即危害生命和健康濃度值的50 最經(jīng)濟的方法就是稀釋排放 但有些有毒物質(zhì)允許的立即危害生命和健康濃度值較低 當最大事故泄漏量較大時.如采用稀釋排放。則所需的稀釋風(fēng)量巨大。明顯不經(jīng)濟、此時采用吸附或洗滌等處理方式是較為合理的方案，11.2 5，極毒和劇毒物質(zhì)對人體危害很大.目前國家相關(guān)規(guī)范規(guī)定要采用凈化處理后高空，高速排放，故不采用稀釋方式排放 11 2,6。由于砷烷和磷烷難溶解于水，采用淋洗方式幾乎無效，所以一般采用吸附方式處理。而微電子廠房常用的乙硼烷能用吸附,也能用洗滌方式處理.11。2.7.本條規(guī)定了采用稀釋方式處理事故排風(fēng)時系統(tǒng)的設(shè)計要求 1，采用稀釋方式處理事故排風(fēng)時，如果稀釋排風(fēng)系統(tǒng)中帶有多個有毒有害物質(zhì)儲存和輸配系統(tǒng).此時系統(tǒng)的稀釋風(fēng)量要滿足系統(tǒng)中任意一個儲罐和相關(guān)的輸配系統(tǒng)發(fā)生事故時所需的稀釋風(fēng)量、所以系統(tǒng)的稀釋風(fēng)量要取各種有毒有害物質(zhì)稀釋至立即危害生命和健康濃度、LDHL、所需空氣量中的最大值,2 當采用稀釋方式處理事故排風(fēng)時.從有毒有害物質(zhì)泄漏處進入稀釋空氣.是最為安全 有效的方式、使系統(tǒng)中絕大部分空氣均處于立即危害生命和健康濃度值以下,11，2。8。本條規(guī)定了用吸附方式處理事故排風(fēng)設(shè)計時的要求.1.設(shè)計吸附處理系統(tǒng)應(yīng)考慮的因素，2 對于固定床吸附處理設(shè)備。由于吸附材料在事故排風(fēng)系統(tǒng)運行過程中是不能添加的 所以吸附材料的裝填量要大于完全吸附系統(tǒng)中最大儲存量的有毒有害物質(zhì)全部散出時的吸附材料需求量,3,與上一款的理由相同,吸附設(shè)備的吸附速率不能低于完全吸附系統(tǒng)中最大泄漏量的有毒有害物質(zhì)散出時所需的吸附速率 以保證所有泄漏的有毒有害物質(zhì)被全部吸附,4 平時每次更換儲罐的吹掃氣體量并不大、但也會使吸附設(shè)備中的部分吸附材料失去吸附能力。導(dǎo)致事故排風(fēng)時的吸附能力不夠、所以更換儲罐的吹掃氣體需另設(shè)置吸附處理系統(tǒng)或接入其他的廢氣處理系統(tǒng) 另外.日常不啟動時因為水分的吸收需要定期確認吸附材料的損傷狀態(tài)，當有毒有害物發(fā)生泄漏，且事故排風(fēng)系統(tǒng)啟動后吸附材料也需要更換,11 2。9、本條規(guī)定了采用淋洗方式處理事故排風(fēng)設(shè)計時的要求 1。直立填料洗滌式廢氣處理設(shè)備雖然接管復(fù)雜.運行阻力稍高，但理論上具有最佳的氣液質(zhì)交換效果。且事故排風(fēng)系統(tǒng)為偶爾運行,運行阻力稍高不應(yīng)作為主要的考量因素，所以要優(yōu)先采用。2,如果事故排風(fēng)系統(tǒng)廢氣處理設(shè)備的循環(huán)泵平時不運行,當有毒有害物質(zhì)發(fā)生泄漏而啟動事故排風(fēng)機時、假如事故排風(fēng)點與廢氣處理設(shè)備間的距離較短,很有可能發(fā)生含有毒有害物質(zhì)的事故排風(fēng)到達處理設(shè)備時.處理設(shè)備中大部分填料還未潤濕。起不到處理效果.事故排風(fēng)系統(tǒng)排出口的有毒有害物質(zhì)濃度超標.所以循環(huán)泵平時要保持低速運行，以保證填料始終處于濕潤狀態(tài)。3.當事故排風(fēng)點與廢氣處理設(shè)備間距離足夠長時.通過計算確認、啟動循環(huán)泵后填料潤濕的時間.短于啟動事故排風(fēng)機后含有毒有害物質(zhì)的空氣到達廢氣處理設(shè)備的時間,洗滌液循環(huán)泵能僅在發(fā)生事故時先于事故排風(fēng)機啟動,但為了防止啟動循環(huán)泵時發(fā)生瞬時抽空現(xiàn)象。廢氣處理設(shè)備的儲液箱容量需足夠大 4,有些有毒有害氣體淋洗處理后會形成酸霧。如HCl氣體淋洗后將形成HCl霧、所以廢氣處理設(shè)備后需裝設(shè)除霧器 以防止酸霧排入大氣,影響處理效率。5，為保證廢氣處理設(shè)備能連續(xù) 穩(wěn)定.高效的工作、需設(shè)置自動補液和排液系統(tǒng)、11.2、10 電子工業(yè)生產(chǎn)過程中使用的砷烷.磷烷.乙硼烷,三氯化硼等極毒和劇毒物質(zhì)一旦發(fā)生泄漏事故 對人員生命健康有很大的危險,所以其儲存和輸配場所需設(shè)置可靠地排風(fēng)系統(tǒng)。