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- 電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計標(biāo)準(zhǔn) GB 51401-2019
- 條文說明
- 1 總則
- 3 基本規(guī)定
- 4 工藝及工藝設(shè)備
- 5 堿性廢氣系統(tǒng)
- 6 酸性廢氣系統(tǒng)
- 7 揮發(fā)性有機(jī)物廢氣系統(tǒng)
- 8 特種廢氣系統(tǒng)
- 8．1 一般規(guī)定
- 8．2 烷類尾氣處理系統(tǒng)
- 8．3 全氟化合物（PFC）尾氣處理系統(tǒng)
- 8．4 其他特種尾氣處理系統(tǒng)
- 8．5 中央廢氣處理系統(tǒng)
- 9 除塵系統(tǒng)
- 10 電子玻璃窯爐廢氣系統(tǒng)
- 11 事故通風(fēng)
- 12 電氣設(shè)計
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8 特種廢氣系統(tǒng)8。1 一般規(guī)定8，1,1、本條規(guī)定了特種廢氣處理系統(tǒng)的設(shè)置要求,1。特種廢氣的尾氣處理設(shè)備包括干法吸附式 熱氧化式，淋洗式 等離子式等,3.尾氣處理設(shè)備的入口。設(shè)備腔體內(nèi),管路以及等離子頭等需要定期清理、短則2個月.3個月，長則3個月、6個月 為了確保穩(wěn)定生產(chǎn) 特種尾氣設(shè)備一般考慮備用。8,1,2。本條規(guī)定了管道連接的要求,1,不同工藝設(shè)備及同一工藝設(shè)備的不同腔體使用相容氣體時，一般采用圖4、圖7接法。工藝設(shè)備不同腔體使用不相容氣體時,要采用圖5接法，不要采用圖4，圖7接法，2，工藝設(shè)備的排出口與尾氣處理設(shè)備的進(jìn)入口.要一一對應(yīng)圖4，圖5接法.圖6合并使用的接法，在接頭處易造成堵塞，故一般不采用 8、1、3。為了減少系統(tǒng)的阻力以及避免冷凝液和顆粒物的積聚。要減少管路中的彎頭和變徑、當(dāng)處理氣體有含有自燃?xì)怏w。如硅烷、可燃?xì)怏w時,為了避免其余滲入的氧氣混合引起燃燒或爆炸 要減少管路上的接頭、8 1 5。在尾氣處理設(shè)備的出口設(shè)置取樣口以便于檢測 8.1。7、從安全角度考慮,制定了本條規(guī)定 8.1.8，采用淋洗式尾氣處理設(shè)備時、由于其排出的氣體中含有水蒸氣。故制定了本條規(guī)定.